على السطح الصخري، فإن انحرافًا بمقدار نصف درجة خلال عملية التسخين الخفيف يكفي لتغيير قيمة CD Bias، مما يؤدي إلى تدمير العديد من الرقائق الجيدة. لذلك، قمنا بتصميم مصابيح التسخين الخاصة بنا بحيث تقضي على هذا الانحراف من جذوره، وذلك عبر التحكم الدقيق في درجة الحرارة دون الحاجة إلى التخمين.
ما الذي يهم حقًا؟ نستخدم مصابيح هالوجين ذات أشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة، مغلفة بطبقة من الكوارتز. سرعة التسخين عالية، ويظل الوضع الثابت مستقرًا. يتم الحفاظ على التوحيد في درجة الحرارة على مستوى الرقاقة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية في المنطقة المضاءة، بحيث تتبع درجة حرارة الفوتوريزيست القيم المحددة، وليس درجة حرارة الجهاز نفسه.
النظام متوافق مع بيئات العمل النظيفة، من الفئة 1 إلى الفئة 100، وتم اختيار المكونات والمواد بحيث يتم تقليل تكوّن الجسيمات إلى أدنى حد ممكن. يتم الحفاظ على استقرار الأداء حتى أثناء العمل على مدار 24 ساعة، كما تُظهر بيانات الأداء استقرارًا في الإخراج الطيفي بعد 5,000 ساعة من العمل.
لماذا يعمل النظام بشكل جيد في الإنتاج؟ في عمليات التسخين الخفيف والشديد، تساعد المصابيح في التحكم في درجة الحرارة التي تؤثر على عملية إزالة المذيبات وتحول الزجاج وانتقائية عملية الحفر. وهذا يؤدي إلى تحسين التحكم في قيمة CD، وانخفاض كثافة العيوب، وتقليل عدد الرقائق التي يجب إعادة معالجتها.
الاستجابة السريعة لدرجة الحرارة وكفاءة استخدام أشعة تحت الحمراء قصيرة الموجة يساعدان في تقليل استهلاك الطاقة، كما يزداد وقت التشغيل لأن المصابيح تعمل لفترات طويلة مع فترات صيانة محددة.
التفاصيل العملية يمكن الحصول على أفضل مستوى من التوحيد عندما يتم مواءمة مسار الضوء مع سطح الرقاقة، وعندما تتناسب هندسة المرايا مع شروط العملية. يجب توقع فترة قصيرة للتسخين الأولي قبل أن يصبح من الممكن تحديد معايير العملية بشكل دقيق.
يجب التخطيط لقوة التيار الكهربائي اللازمة للجهاز، بالإضافة إلى التحقق من توافق الأجزاء المختلفة مع بعضها البعض. نوفر إرشادات حول كيفية التوصيل لمطابقة ما هو موجود بالفعل في منصات العمل الخاصة بكم.