লিথো ফ্লোরে, সফট বেক প্রক্রিয়ায় অর্ধ-ডিগ্রির মতো ভিন্নতাই যথেষ্ট যাতে CD বায়াস পরিবর্তিত হয়ে যায়; ফলে অনেক ভালো ওয়েফার নষ্ট হয়ে যায়। আমরা ওয়েফার হিটিং ল্যাম্পগুলোকে এমনভাবে ডিজাইন করেছি যাতে এই ধরনের ভিন্নতাগুলো সৃষ্টি না হয়—অর্থাৎ থার্মাল কন্ট্রোল সিস্টেমটি নির্দিষ্ট মান বজায় রাখে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা কোয়ার্টজ এনভেলপে SWIR হ্যালোজেন ল্যাম্প ব্যবহার করি। এর ফলে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; ফলে ফটোরেসিস্টের তাপমাত্রাও নির্দিষ্ট মান অনুসরণ করে।
এই সিস্টেমটি ক্লাস 1 থেকে ক্লাস 100 পর্যন্ত ক্লিনরুম-সংগত। এখানে ব্যবহৃত উপকরণগুলো এমনভাবে নির্বাচিত হয়েছে যাতে কণা উৎপাদন যতটা সম্ভব শূন্যের কাছাকাছি থাকে। ২৪/৭ অপারেশনেও আউটপুটের নির্ভুলতা বজায় থাকে; ৫,০০০+ ঘন্টা অপারেশনের পরও স্পেকট্রাল আউটপুট স্থিতিশীল থাকে।
কেন এটি উৎপাদনে কার্যকর?
সফট বেক ও হার্ড বেক প্রক্রিয়ায় ল্যাম্পটি থার্মাল বাজেটকে নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে সলভেন্ট অপসারণ, গ্লাস ট্রানজিশন ও ইটচ সিলেক্টিভিটি নিয়ন্ত্রিত হয়। এর ফলে CD নিয়ন্ত্রণ ভালো হয়, ত্রুটির পরিমাণ কমে যায় এবং রিওয়ার্কের পরিমাণও কমে যায়।
দ্রুত থার্মাল প্রতিক্রিয়া ও দক্ষ SWIR কাপলিংয়ের ফলে এনার্জি সাশ্রয় হয়; আর ল্যাম্পটি দীর্ঘ সময় ধরে কাজ করতে পারে।
ব্যবহারিক বিবরণসমূহ
অপটিক্যাল পথটি ওয়েফারের সমতলের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ থাকলে এবং রিফ্লেক্টরের জ্যামিতি প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত হলে সর্বোত্তম ইউনিফর্মিটি পাওয়া যায়। বেক প্রক্রিয়াটি সঠিকভাবে কাজ করার জন্য কিছুটা সময় দরকার।
টুল-সাইড পাওয়ার ও ইন্টারলক সামঞ্জস্যের ব্যাপারে পরিকল্পনা করুন—আমরা আপনার প্ল্যাটফর্মে ইতিমধ্যে ব্যবহৃত উপকরণগুলোর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ ওয়্যারিং গাইডান্স দিই।