Auf dem Lithoflachbett reicht bereits eine Verschiebung von einem Halbgrad während des Weichbrennvorgangs aus, um die CD-Abweichungen zu vergrößern und viele gute Wafer zu beschädigen. Wir haben unsere Waferheizlampen so konstruiert, dass diese Verschiebungen bereits an der Quelle beseitigt werden – es handelt sich dabei um eine thermische Steuerung, die den gewünschten Wert ohne Vermutungen hält.
Was wirklich wichtig ist Wir verwenden Halogenlampen mit kurzwelligem Infrarotlicht in einer Quarzkapsel. Die Erwärmung erfolgt schnell, und der Zustand bleibt stabil. Die Homogenität auf der Waferoberfläche liegt bei ±0,1°C innerhalb der beleuchteten Zone – dadurch folgt die Temperatur des Photoresists dem vorgegebenen Schema, und nicht der Beschaffenheit der Anlage.
Das System ist für Reinräume der Klassen 1 bis 100 geeignet. Die verwendeten Komponenten und Materialien sorgen dafür, dass die Teilchengenerierung auf ein Minimum reduziert wird. So bleibt die Wiederholgenauigkeit auch bei 24/7-Betrieb erhalten. Die Lebensdauer der Anlage beträgt mehr als 5.000 Stunden, wobei die Spektrallieferung weiterhin stabil bleibt.
Warum das System in der Produktion effektiv ist Sowohl beim Weich- als auch beim Hartbrennvorgang regelt die Lampe den thermischen Prozess, der die Entfernung von Lösungsmitteln, die Glasübergangstemperatur sowie die Selektivität beim Ätzen beeinflusst. Dadurch ergibt sich eine bessere Kontrolle über die CD-Abweichungen, eine geringere Fehlerquote sowie weniger Rückarbeiten.
Die schnelle thermische Reaktion sowie die effiziente Übertragung des Infrarotlichts führen zu einem geringeren Energieverbrauch. Zudem verbessert sich die Verfügbarkeit der Anlage, da die Lampen über längere Zeiträume ohne Probleme betrieben werden können.
Praktische Details Die beste Homogenität wird erreicht, wenn der optische Weg zur Waferoberfläche ausgerichtet ist und die Geometrie des Reflektors zum Prozessbedarf passt. Es dauert etwas Zeit, bis die thermischen Prozesse stabil sind – danach kann das Brennprofil genutzt werden.
Planen Sie außerdem die Leistungsaufnahme der Anlage sowie die Kompatibilität mit anderen Geräten ein. Wir liefern Anleitung zur Verkabelung, damit alles mit Ihren vorhandenen Systemen kompatibel ist.