En el suelo de litio, incluso un desvío de medio grado durante el proceso de cocción suave es suficiente para alterar el偏置 del CD y dañar muchas de las obleas. Por eso, diseñamos nuestras lámparas de calentamiento de obleas para eliminar ese desvío desde su origen: un control térmico que mantiene el valor establecido, sin necesidad de hacer conjeturas.
Lo que realmente importa Utilizamos lámparas halógenas de infrarrojo de onda corta (SWIR) dentro de envolturas de cuarzo. El proceso de calentamiento es rápido, y el estado estable se mantiene constante. La uniformidad en todo el área iluminada es de ±0.1°C, por lo que la temperatura del fotolito sigue las especificaciones requeridas, no las características de la herramienta utilizada.
El sistema es compatible con ambientes de tipo “cleanroom”, desde clase 1 hasta clase 100. Los componentes y materiales utilizados están diseñados para reducir al mínimo la generación de partículas. Se logra así una repetibilidad en los resultados, incluso durante operaciones continuas de 24/7. Además, los datos de vida útil indican que el rendimiento del sistema permanece estable después de más de 5,000 horas de uso.
Por qué funciona bien en la producción Tanto en el proceso de cocción suave como en el duro, la lámpara controla eficazmente el balance térmico necesario para eliminar solventes, lograr la transición vítrea adecuada y asegurar una selección eficiente durante el proceso de grabado. Esto se traduce en un mejor control del CD, menor densidad de defectos y menos necesidad de re-trabajo.
La rápida respuesta térmica y la eficiente transferencia de energía mediante lámparas SWIR permiten reducir el consumo de energía. Además, el tiempo de funcionamiento aumenta, ya que la lámpara puede operar durante ciclos prolongados con intervalos de mantenimiento predecibles.
Detalles prácticos Se logra la mejor uniformidad cuando la ruta óptica está alineada con el plano de la oblea y la geometría del reflector coincide con las condiciones del proceso. Se espera un breve período de calentamiento antes de poder utilizar el sistema de manera óptima.
Es importante planificar la potencia necesaria para la herramienta y asegurar su compatibilidad con los sistemas existentes. Ofrecemos guías para conectar los cables de manera adecuada.