¿Por qué utilizamos la curado por rayos infrarrojos en los estándares de semiconductores sin plomo?
Cuando la gente habla de “ser ecológicos” o de productos sin plomo en el diseño de equipos para procesamiento de obleas, suele centrarse en los químicos utilizados. Pero lo importante es cómo se maneja el calor. Por eso recurrimos al curado por rayos infrarrojos. En lugar de intentar calentar toda la cámara del equipo, nos centramos únicamente en el sustrato.
Llevar el calor donde realmente es necesario
Imagínese un horno convencional: pasa demasiado tiempo calentando el aire. Es una pérdida de energía. Los rayos infrarrojos son diferentes: utilizan radiación electromagnética para hacer que las moléculas del adhesivo o del fotoresistente se muevan. El resultado: la oblea alcanza la temperatura adecuada en pocos segundos. No hay necesidad de luchar contra todo el volumen del equipo, y esa es precisamente la razón por la cual los rayos infrarrojos se han convertido en la opción preferida para ahorrar energía en las salas limpias.
Mantenerse dentro de los límites ideales
Los polímeros y soldaduras sin plomo son muy exigentes en cuanto a temperaturas. Si la temperatura es demasiado alta, las obleas se deforman o se dañan permanentemente. Para evitar esto, incorporamos sensores de precisión en los equipos para supervisar los picos de temperatura en tiempo real. Al utilizar rayos infrarrojos de onda corta, podemos aumentar o reducir la temperatura instantáneamente. Este nivel de control no se logra con métodos de calentamiento lentos, ya que estos tienden a degradar los químicos utilizados.
El equilibrio (porque siempre hay un compromiso)
Los rayos infrarrojos son rápidos… pero esa rapidez conlleva un riesgo. La densidad de calor es muy alta. Si los sensores no están en la posición correcta o si el circuito PID no está ajustado adecuadamente, aparecerán zonas calientes en la oblea. Además, es necesario asegurarse de que el sistema de refrigeración pueda mantenerse al día con este ciclo rápido, de lo contrario, los sensores se dañarán. Hemos descubierto que la solución ideal consiste en combinar emisores de rayos infrarrojos con sensores de alta frecuencia. De esta manera, todo queda dentro de los límites adecuados, sin necesidad de utilizar aquellos agentes de calentamiento tóxicos.