در سالن تولید، یک انحراف نیم درجهای در پخت فوتورزیست کافی است تا عرض خطوط تغییر کند و بسیاری از لوتها به ضایعات تبدیل شوند. ما سیستمهای گرمکننده کوارتزی ساختیم تا رفتار حرارتی را در هر شیفت بهدقت کنترل کنیم.
آنچه زیر کاپوت اهمیت دارد
ما از المنتهای کوارتز مادون قرمز کوتاهموج استفاده میکنیم چون پاسخ سریع دارند و کنترل دقیق را فراهم میکنند. در سراسر ناحیه فعال، یکنواختی روی ویفر در حدود ±0.1°C حفظ میشود و تکرارپذیری از لوت به لوت در محدوده 0.2°C باقی میماند.
سازگاری با اتاق تمیز برای کلاس 1–100 در نظر گرفته شده است: مواد با تخلیه گاز کم، اتصالات مهر و موم شده و سطوحی که ذرات رها نمیکنند. چگالی توان به پنجره فرآیند تنظیم شده و پروفایل حرارتی در طول پخت نرم، پخت سخت و پس از اعمال پخت، تکرارپذیر باقی میماند.
دلیل اهمیت این موضوع در لیتوگرافی
ثبات دما عامل تعیینکننده بازده در فرآیند فوتورزیست است. این ثبات باعث کنترل مکرر ابعاد بحرانی، کاهش اصلاحات و عملکرد قابل برنامهریزی در برابر عیوب میشود.
افزایش سریع دما، بودجه حرارتی را کنترل میکند تا فیلمهای زیرین آسیب نبینند. مصرف انرژی کاهش مییابد زیرا سیستم به صورت تقاضا گرم شده و بدون نوسان دما را ثابت نگه میدارد. نتیجه، توان عملیاتی ثابت است—توقفهای کمتر برای کالیبراسیون مجدد و تعویض گرمکن کمتر.
نکات عملی برای نصب
این واحدها به گونهای ساخته شدهاند که با استانداردهای بینالمللی تجهیزات نیمههادی همراستا باشند و به عنوان جایگزینهای معتبر و معادل عمل کنند. ادغام سیستم ساده است اما باید تطابق اتصال حرارتی با چاک، هندسه اتاقک و استراتژی کنترل با کاربرد تطبیق داده شود.
انتظار میرود یک دوره راهاندازی کوتاه برای تنظیم PID و تثبیت پروفایل در انواع ویفرها انجام شود.