Comment maintenir vos lampes à infrarouges vraiment propres
Si vous travaillez dans une salle blanche de classe 100, vous connaissez déjà les règles : le moindre grain de poussière ou la moindre vapeur chimique peut détruire toute votre production.
En ce qui concerne le chauffage des semi-conducteurs, la plupart des gens se concentrent sur les lampes à infrarouges en quartz de haute pureté. C’est vrai, c’est important. Mais ce n’est que la moitié du problème. Le véritable problème vient généralement des câbles qui alimentent le filament en tungstène.
Le véritable coupable : l’isolation des câbles
Les câbles en PVC ou en silicone standard ne peuvent pas résister à la chaleur émise par les lampes à infrarouges. Ils finissent par se détériorer, ce qui entraîne la libération de composés organiques volatils et de particules microscopiques. Dans une usine de semi-conducteurs, ces particules ne disparaissent pas simplement : elles se déposent directement sur les wafers. Et c’est ainsi que votre taux de production diminue.
Nous avons résolu ce problème en utilisant des câbles isolés en Teflon (PTFE). Ce matériau est chimiquement inerte et reste stable même sous haute température. Il ne libère pas de gaz et ne fond ni ne coule lorsque la lampe atteint sa température maximale. En combinant le PTFE avec du quartz de haute pureté, on élimine ainsi les principales sources de saleté dans l’air.
La réalité de la chaleur
Nous utilisons des enveloppes en SiO2 de haute pureté pour nos lampes, afin de garantir une lumière constante. Cela évite ce phénomène gênant de « jaunissement » que l’on observe avec les verres bon marché. Sans cela, la longueur d’onde des rayons infrarouges change, ce qui entraîne un chauffage inégal du substrat.
Mais il faut être prudent quant à l’emplacement des câbles. Même si le PTFE résiste bien à la chaleur, il a quand même une limite de résistance. Si vous placez les câbles trop près de l’enveloppe en quartz, sans protection contre la chaleur, vous risquez des problèmes. Nous recommandons de laisser un espace suffisant entre les câbles, afin que leur température reste inférieure à 260°C.
Comment l’intégrer dans votre système
Ces composants sont conçus pour remplacer facilement les systèmes de séchage et de cuisson existants. Aucun problème.
Nous utilisons également des connecteurs plaqués or ou nickel. Pourquoi ? Parce que l’oxydation au niveau des contacts est un problème majeur. En maintenant ces contacts propres, nous garantissons un flux électrique régulier et évitons les étincelles. Comme nous l’avons déjà mentionné, la dernière chose dont vous avez besoin dans une salle blanche, c’est de particules métalliques en suspension dans l’air.