על הקרש האבן, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה במהלך תהליך החימום העדין עלול לגרום לשינוי בהטיית ה-CD, דבר שעלול לפגוע בשבבים האיכותיים. יצרנו את מנורות החימום שלנו כך שיוכלו למנוע שינויים אלה – שליטה תרמית שמאפשרת שמירה על הטמפרטורה הרצויה ללא צורך בהערכות.
מה חשוב באמת? אנו משתמשים במנורות הלוגן באור אינפרא-אדום בעל גל ארוך, המוצבות במעטפת קוורץ. זה מאפשר עלייה מהירה בטמפרטורה, והטמפרטורה נשארת יציבה. האחידות בטמפרטורה על פני השבב נשמרת בטווח של ±0.1°C, כך שטמפרטורת הפוטורזיסט תהיה תואמת להוראות הייצור, ולא לתנאים של הציוד.
המערכת תואמת לתנאי חדר נקי מסוג Class 1 ועד Class 100. הרכיבים והחומרים שנבחרו מאפשרים שליטה מיטבית בהיווצרות חלקיקים. ניתן לשמור על עקביות בתוצאות הייצור גם במהלך פעולה 24/7. נתוני השימוש מראים שהמערכת ממשיכה לעבוד ביעילות גם לאחר 5,000 שעות שימוש.
למה זה עובד טוב בייצור? בתהליכי חימום עדין וחימום אינטנסיבי, המנורה שולטת בטמפרטורה שמשפיעה על הסרת החומרים המסיסים, על שינוי המצב הטרמי של הזכוכית, ועל רמת האפקטיביות של תהליך החיתוך. כתוצאה מכך, יש שליטה טובה יותר בהטיית ה-CD, רמת פגמים נמוכה יותר, ופחות צורך בתיקונים.
התגובה התרמית המהירה והשימוש באור אינפרא-אדום יעיל מפחיתים את צריכת האנרגיה. זמן הפעולה של המנורה עולה, מכיוון שהיא יכולה לפעול לאורך זמן עם תחזוקה צפויה.
הפרטים המעשיים ניתן להשיג את האחידות הטובה ביותר כאשר מסלול האור מיושר עם מישור השבב, וגאומטריית המחזירת האור תואמת את תנאי הייצור. יש לצפות לזמן קצר של התאמה לפני שניתן יהיה להשתמש במערכת באופן יעיל.
יש לתכנן את ההספק של הציוד ואת ההתאמה בין הרכיבים השונים. אנו מספקים הנחיות לחיבורים שיתאימו לציוד הקיים שלכם.