बिना किसी खतरे के वेफरों को गर्म करना
रासायनिक सफाई के दौरान वेफरों को गर्म करना एक चुनौतीपूर्ण कार्य है। इसके लिए सटीक तापमान आवश्यक है, लेकिन ऐसा कार्य ज्वलनशील घोलों के बगल में ही किया जाता है। अगर सावधानी न बरती गई, तो यह खतरनाक हो सकता है। सुरक्षा हेतु, हम विशेष इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं; ऐसे लैंप ऐसे वातावरण में आग लगने का कारण नहीं बनते।
“बिना चिंगारी के” सेटअप
अधिकांश इन्फ्रारेड लैंप “ओपन-एलिमेंट” प्रकार के होते हैं… यानी उनका गर्म करने वाला घटक सीधे ही बाहर होता है। रासायनिक सफाई के दौरान एक छोटी सी चिंगारी भी आग लगने का कारण बन सकती है। हम ऐसा नहीं करते। इसके बजाय, हम सब कुछ एक सीलबंद, विस्फोट-रोधी क्वार्ट्ज कवर में रखते हैं… यह एक उच्च-गुणवत्ता वाला सुरक्षा उपकरण है, जो विद्युत घटकों को रासायनिक वाष्पों से अलग रखता है। हम इलेक्ट्रोडों के जोड़ों पर विशेष सीलेंट भी लगाते हैं, ताकि कोई गैस आंतरिक भाग में न जा सके।
ठंडा रखना (जहाँ आवश्यक है)
ये लैंप शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड विकिरण का उपयोग करते हैं… इसका फायदा यह है कि ऊर्जा सीधे ही वेफर में जाती है… हवा या आसपास के रासायनिक घोलों को गर्म करने में समय बर्बाद नहीं होता। चूँकि ऊर्जा बहुत ही केंद्रित होती है, इसलिए लैंप की बाहरी सतह, उपयोग किए गए रासायनिक पदार्थों के आत्म-दहन बिंदु से नीचे ही रहती है… यह गर्मी को नियंत्रित करने का एक बेहतरीन तरीका है।
लेकिन फिर भी, वायु-प्रवाह पर ध्यान देना आवश्यक है… अगर वेंट खराब हो जाएं, तो गैसें जमा होने लगती हैं… ऐसी स्थिति में सीलबंद लैंप भी खतरनाक हो सकता है… इसीलिए हम इन लैंपों के साथ थर्मोकपल भी उपयोग में लाते हैं… यह एक सुरक्षा उपकरण है, जो यह सुनिश्चित करता है कि लैंप अत्यधिक गर्म न हो जाए।
उपकरणों की देखभाल
हमने इन लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि इन्हें आसानी से बदला जा सके… इसलिए आपको अपनी पूरी प्रक्रिया को फिर से डिज़ाइन करने की आवश्यकता नहीं है… हम वायरिंग को फ्लेम-रेटार्ड कन्डक्ट्स में ही रखते हैं… क्योंकि कोई भी लंबे समय तक उत्पादन करते समय केबलों के जलने की स्थिति नहीं चाहता।
चूँकि ये लैंप रासायनिक वातावरण में ही काम करते हैं, इसलिए हम उनकी बाहरी सतह की देखभाल भी करते हैं… ताकि रासायनिक पदार्थ उस सतह को नुकसान न पहुँचाएं।
एक छोटी सी सलाह: उस काँच की सतह पर नज़र रखें… अगर काँच धुंधला हो जाए, तो ऊष्मा-हस्तांतरण कम हो जाता है… ऐसी स्थिति में लैंप को अधिक ऊर्जा खर्च करनी पड़ती है… जिससे लैंप जल्दी ही खराब हो जाता है… हर 500 घंटों में क्वार्ट्ज की सतह की जाँच जरूर करें… ऐसा करने से आपका उपकरण लंबे समय तक काम करेगा।