लिथो-फ्लोर पर, सॉफ्ट बेक के दौरान आधा डिग्री का विचलन ही CD बायस को प्रभावित करने एवं कई अच्छे वेफरों को नष्ट करने के लिए पर्याप्त है। हमने ऐसी व्यवस्था बनाई है जिससे ऐसा विचलन ही रोका जा सके… ऐसा थर्मल नियंत्रण जिससे सेटपॉइंट स्थिर रहे।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज आवरण में शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (SWIR) हैलोजन लैंपों का उपयोग करते हैं। इससे तापमान तेजी से बढ़ता है, एवं स्थिर अवस्था बनी रहती है। प्रकाशित क्षेत्र में वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है… इसलिए फोटोरेजिस्ट का तापमान भी निर्धारित मानों के अनुसार ही रहता है।
सिस्टम की विशेषताएँ
यह सिस्टम क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों के लिए उपयुक्त है… इसमें ऐसे उपकरण/सामग्रियों का उपयोग किया गया है जिससे कणों का उत्पादन शून्य के करीब ही रहे। 24/7 संचालन के दौरान भी आउटपुट में एकरूपता बनी रहती है… 5,000+ घंटों तक भी स्पेक्ट्रल आउटपुट स्थिर रहता है।
उत्पादन में इसका क्या प्रभाव है?
सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक के दौरान, यह लैंप वह थर्मल व्यवस्था नियंत्रित करता है जो विलायकों के निष्कासन, ग्लास के रूपांतरण एवं एटच प्रक्रियाओं को नियंत्रित करती है। इससे CD नियंत्रण बेहतर होता है, दोषों की मात्रा कम होती है, एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है।
ऊर्जा उपयोग एवं दक्षता
तेज थर्मल प्रतिक्रिया एवं कुशल SWIR कपलिंग के कारण ऊर्जा खर्च कम होता है… लैंप लंबे समय तक काम करता है, एवं रखरखाव की प्रक्रियाएँ भी आसान हो जाती हैं।
व्यावहारिक विवरण
जब ऑप्टिकल पथ वेफर के समतल से संरेखित होता है, एवं रिफ्लेक्टर की ज्यामिति प्रक्रिया के अनुरूप होती है, तब ही सबसे अच्छी एकरूपता प्राप्त होती है। बेक प्रक्रिया को ठीक से संचालित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… ताकि थर्मल लूप स्थिर हो जाएं।
उपकरणों की संगतता
उपकरणों की बिजली आवश्यकताओं एवं इंटरलॉक संगतता का ध्यान रखना आवश्यक है… हम आपके प्लेटफॉर्मों पर पहले से मौजूद उपकरणों के अनुरूप वायरिंग व्यवस्था भी प्रदान करते हैं।