अपने IR हीटिंग उपकरणों को हमेशा साफ रखें
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम में काम कर रहे हैं, तो आपको पहले से ही पता होगा कि थोड़ी सी धूल या कोई रासायनिक अभिक्रिया भी आपके पूरे उत्पादन प्रक्रम को नष्ट कर सकती है।
सेमीकंडक्टर हीटिंग के मामले में, अधिकांश लोग उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज IR लैंपों पर ही ध्यान देते हैं। और यह बात तो सही है… लेकिन वास्तव में लैंप ही समस्या का केवल आधा हिस्सा है। वास्तविक समस्या तो उन तारों से ही शुरू होती है, जो टंगस्टन फिलामेंट तक ऊर्जा पहुँचाते हैं।
छिपा हुआ कारण: इंसुलेशन
सामान्य PVC या सिलिकॉन वाले तार, IR लैंप की गर्मी को सहन नहीं कर पाते। ऐसी स्थिति में इंसुलेशन टूटने लगता है, जिससे वायुमंडल में वोलाटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंड्स छोड़े जाते हैं, एवं सूक्ष्म कण भी उत्पन्न होते हैं।
सेमीकंडक्टर फैक्ट्रियों में, ऐसे कण सीधे वेफरों पर ही गिर जाते हैं… और इसी कारण उत्पादन प्रक्रम प्रभावित हो जाता है।
हमने इस समस्या से बचने हेतु Teflon (PTFE) इंसुलेटेड तारों का उपयोग किया। ये रासायनिक रूप से स्थिर होते हैं, एवं गर्मी के कारण भी नष्ट नहीं होते। इनसे कोई गैस नहीं निकलती, एवं लैंप अपनी अधिकतम तापमान सीमा तक पहुँचने पर भी ये पिघलते नहीं। PTFE का उपयोग करने से हवा में मौजूद अशुद्धियाँ कम हो जाती हैं।
गर्मी की वास्तविकता
हम अपने लैंपों में उच्च शुद्धता वाले SiO2 का उपयोग करते हैं, ताकि प्रकाश संतुलित रहे। ऐसा करने से सस्ते काँच से होने वाली “पीलापन” समस्या दूर हो जाती है। बिना इसके, इन्फ्रारेड तरंगदैर्घ्य बदल जाता है, जिससे सब्सट्रेट पर असमान तापमान उत्पन्न हो जाता है।
लेकिन तारों को कहाँ रखा जाए, इस बारे में सावधान रहना आवश्यक है।
हालाँकि PTFE गर्मी को सहन करने में सक्षम है, लेकिन इसकी भी एक सीमा है। यदि तारों को क्वार्ट्ज आवरण के बहुत निकट रखा जाए, तो समस्याएँ हो सकती हैं। हम तारों के बीच एक निश्चित दूरी रखने की सलाह देते हैं, ताकि तारों का तापमान 260°C से कम रहे।
अपने सेटअप में इन उपकरणों का उपयोग
ये उपकरण आपके क्यूरिंग/ड्रायिंग चरणों में आसानी से उपयोग में आ सकते हैं।
हम सोने/निकल से ढके हुए कनेक्टरों का भी उपयोग करते हैं… क्योंकि संपर्क बिंदु पर ऑक्सीकरण एक बड़ी समस्या है। ऐसा करने से धारा स्थिर रहती है, एवं आर्किंग की समस्या भी नहीं होती। क्योंकि क्लीनरूम में धातु कणों का होना बिल्कुल भी वांछनीय नहीं है।