ओजोन के कारण अपने हार्डवेयर को नष्ट होने से बचाएं।
जब आप सेमीकंडक्टर निर्माण संयंत्र में काम कर रहे होते हैं, तो आपको सबसे अधिक जरूरत होती है कि वहाँ कोई प्रदूषण न हो। आपके ड्राइंग एवं क्यूरिंग प्रक्रियाएँ ऐसी होनी चाहिए कि उनसे वेफर पर कोई निशान न रहे, एवं क्लीनरूम में भी कोई गड़बड़ी न हो।
यहीं पर ओजोन-रहित इन्फ्रारेड (IR) लैंप काम आते हैं।
अधिकांश सामान्य शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड लैंप, 185नैनोमीटर से 254नैनोमीटर की आवृत्ति में विकिरण उत्सर्जित करते हैं। समस्या यह है कि यह विकिरण हवा में मौजूद ऑक्सीजन से ओजोन बनाता है। सेमीकंडक्टर निर्माण संयंत्र में ओजोन एक खतरनाक पदार्थ है; यह धीरे-धीरे आपके उपकरणों को नष्ट कर देता है।
इस समस्या का समाधान बहुत ही सरल है।
हम विशेष क्वार्ट्ज आवरणों या आंतरिक फिल्टरों का उपयोग करके उस VUV विकिरण को रोक देते हैं। 200नैनोमीटर से कम आवृत्ति वाले विकिरणों को रोककर हम रासायनिक अपशिष्टों को पूरी तरह से दूर कर देते हैं। इस तरह हमें केवल शुद्ध ऊष्मा ही मिलती है।
सबसे अच्छी बात यह है कि आप उच्च-तीव्रता वाले क्यूरिंग चक्रों को चला सकते हैं, बिना किसी बड़े एवं शोरगुल वाले वेंटिलेशन सिस्टम की आवश्यकता के। इससे पूरा कमरा और भी साफ रहता है।
यह तो बहुत ही तेज़ भी है।
कन्वेक्शन ओवन के बारे में सोचिए – आपको पहले हवा को गर्म करना होता है, फिर ही वह हवा उपकरणों को गर्म कर पाती है। यह बहुत ही धीमी प्रक्रिया है। लेकिन इन्फ्रारेड में ऊर्जा सीधे ही सामग्री तक पहुँच जाती है।
यह बहुत ही कुशल तरीका है। आपके उपकरणों को गर्म करने में लगने वाला समय कम हो जाता है। इसके अलावा, हम इन सिस्टमों को विभिन्न जोनों में विभाजित कर सकते हैं; इससे केवल एक ही जगह को गर्म करने की आवश्यकता होती है।
लेकिन एक समस्या यह है…
उच्च-तीव्रता वाले इन्फ्रारेड लैंप बहुत ही गर्म हो जाते हैं – खासकर लैंप के सिरे पर। हालाँकि यह प्रक्रिया हरित है, लेकिन हार्डवेयर पर फिर भी दबाव पड़ता है।
आपको अपने कूलिंग फैनों या वॉटर-कूल्ड जैकेटों का उपयोग जरूर करना होगा। यदि आप कूलिंग सिस्टम को कमजोर रखेंगे, तो लैंपों के सिरे बहुत जल्दी ही गर्म हो जाएँगे एवं नष्ट हो जाएँगे। यह बहुत ही निराशाजनक स्थिति है।
ओजोन-रहित इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करने से आपका काम आसान हो जाता है। आपको खतरनाक गैसों की चिंता करने की आवश्यकता नहीं है, एवं आप “पर्यावरण-अनुकूल” एवं “लीड-रहित” मानकों को आसानी से पूरा कर सकते हैं। यही तो एक स्वच्छ एवं शांतिपूर्ण कार्यस्थल बनाने का सबसे आसान तरीका है।