Riscaldamento delle wafer senza rischi di incendio
Riscaldare le wafer durante una pulizia chimica è un’operazione delicata: è necessario un riscaldamento preciso, ma si fa tutto in prossimità di solventi infiammabili. Se non si è attenti, si può verificare un incendio. Per garantire la sicurezza, utilizziamo lampade a infrarossi speciali, che non possono causare incendi in ambienti così pericolosi.
La soluzione “senza scintille”
La maggior parte delle lampade a infrarossi è dotata di filamenti esposti all’esterno. In un ambiente di pulizia chimica, anche la minima scintilla o una superficie troppo calda può innescare un incendio. Noi evitiamo questo problema: avvolgiamo tutto in un rivestimento di quarzo resistente alle esplosioni. Si tratta di uno strato protettivo che isola completamente i componenti elettrici dai vapori chimici. Utilizziamo anche sigillanti speciali alle giunzioni degli elettrodi, in modo che nessun gas possa penetrare all’interno della struttura della lampada.
Mantenere la temperatura sotto controllo
Queste lampade utilizzano radiazioni a onde corte. Il vantaggio è che l’energia viene trasmessa direttamente alla wafer, senza sprecarsi nel riscaldare l’aria o i vapori circostanti. Grazie a questa concentrazione di energia, la superficie esterna della lampada rimane al di sotto del punto di auto-accensione dei solventi utilizzati. È quindi un metodo molto più sicuro per gestire il calore.
Attenzione al flusso d’aria
Anche se le lampade sono ben protette, è comunque importante controllare il flusso d’aria. Se i condotti di ventilazione non funzionano correttamente e i vapori si accumulano, anche una lampada sigillata può diventare pericolosa se la superficie diventa troppo calda. Per questo motivo, abbiniamo queste lampade a termocupole integrate, che fungono da sistema di sicurezza per evitare che la temperatura superi i limiti consentiti.
Manutenzione dell’apparecchiatura
Abbiamo progettato queste lampade in modo che possano essere sostituite facilmente, senza dover modificare l’intera linea di produzione. I cavi elettrici vengono protetti da guaine ignifughe: nessuno vuole che i cavi si brucino durante una lunga fase di produzione. Poiché queste lampade operano in un ambiente corrosivo, trattiamo la superficie esterna del quarzo per evitare che i solventi lo danneggino.
Un consiglio utile
Controllate regolarmente la superficie del quarzo: se diventa opaca, la trasmissione del calore diminuisce. La lampada dovrebbe quindi lavorare di più per compensare, il che può portare al suo deterioramento prematuro. Controllate il quarzo ogni 500 ore per assicurarvi che rimanga chiaro. Così facendo, la vostra attrezzatura vi ringrazierà.