Sul piano di lavoro in litio, anche un lieve spostamento di mezzo grado durante il processo di riscaldamento è sufficiente per alterare i parametri di funzionamento del dispositivo, con conseguente distruzione di molte lastre di qualità. Per evitare questo problema, abbiamo progettato delle lampade per il riscaldamento delle lastre in modo da eliminare tale spostamento fin dall’inizio: un sistema di controllo termico che mantiene i parametri stabili, senza alcun margine di errore.
Ciò che conta davvero Utilizziamo lampade ad infrarossi a corta lunghezza d’onda, racchiuse in involucri di quarzo. Il tempo di riscaldamento è rapido, e lo stato di equilibrio rimane costante. L’uniformità della temperatura sulla superficie della lastra è mantenuta entro ±0,1°C nell’area illuminata; in questo modo, la temperatura del fotorestatore segue le specifiche richieste, indipendentemente dalle condizioni del dispositivo stesso.
Il sistema è compatibile con ambienti di tipo “clean room”, dalla classe 1 fino alla classe 100. I componenti e i materiali utilizzati sono scelti per ridurre al minimo la produzione di particelle. Si ottiene quindi una ripetibilità elevata anche durante un funzionamento continuo 24/7; inoltre, i dati relativi all’affidabilità del sistema mostrano che la prestazione rimane stabile anche dopo oltre 5.000 ore di utilizzo.
Perché funziona bene in produzione Sia durante il processo di riscaldamento dolce che quello duro, la lampada permette di controllare i parametri termici legati alla rimozione dei solventi, alla transizione vetrostabile e alla selettività dell’etching. Ciò si traduce in un migliore controllo dei parametri legati al CD, in una minore densità di difetti e in meno necessità di rifacimento dei prodotti.
La rapida risposta termica e l’efficace trasmissione dell’energia tramite le lampade ad infrarossi riducono il consumo energetico. Inoltre, il tempo di funzionamento aumenta, poiché le lampade possono funzionare per lunghi periodi, con intervalli di manutenzione prevedibili.
I dettagli pratici Si ottiene la migliore uniformità quando il percorso ottico è allineato con il piano della lastra, e quando la geometria del riflettore corrisponde alle esigenze del processo. È necessario attendere un breve periodo di accensione della lampada affinché i circuiti termici si stabilizzino, prima di poter utilizzare il dispositivo per i processi di produzione.
È importante tenere conto della potenza necessaria per il funzionamento del dispositivo e della compatibilità con gli altri componenti presenti nella linea di produzione. Forniamo indicazioni dettagliate per l’impiantazione dei cavi, in modo da adattarsi alle strutture già esistenti nelle vostre linee di produzione.