機器が「オーブン」になるのを防ぎましょう IRランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。半導体のサイズが小さい場合、これは大変な問題です。反射板がないと、エネルギーの約半分が機器の内壁に当たってしまいます。これは無駄遣いです。さらに悪いことに、機器の筐体が過度に熱くなり、作業員が火傷...

スパークを防ぐために：化学処理ラインでセラミックカプセルが重要な理由 もし、化学洗浄ラインで赤外線発振器を使用しているのであれば、その過酷さはご存知でしょう。周囲には可燃性の蒸気が漂っており、腐食性のある物質があらゆるものを侵食しようとします。 このような環境では、通常のワイヤ接続はまるで時限爆弾...

なぜウェーハ製造においてIR硬化法を採用するのか？ 正直言って、従来の対流式オーブンは非効率的です。速度が遅く、有害な化学物質を使用する必要があり、基本的には大きな空間を温めるだけです。私たちはそうした方式から脱却しようとしています。代わりに、赤外線を利用した硬化法を採用しているのです。 大きな違...