폭발 없이 웨이퍼를 가열하는 방법
화학적 세정 과정에서 웨이퍼를 가열하는 것은 매우 위험한 작업입니다. 정확한 온도 조절이 필요하지만, 동시에 인화성 용매들과 가까이에서 작업해야 하기 때문입니다. 조심하지 않으면 큰 문제가 생길 수 있습니다. 안전을 위해, 우리는 그러한 환경에서도 점화가 일어나지 않는 특수한 적외선 램프를 사용합니다.
“스파크가 발생하지 않는 구조”
대부분의 적외선 램프는 “개방형 구조”를 가지고 있어서, 열을 발생시키는 필라멘트가 그대로 드러나 있습니다. 하지만 화학적 세정 과정에서는 아주 작은 스파크나 과열된 표면만으로도 화재가 발생할 수 있습니다.
우리는 그런 상황을 피하기 위해 모든 부품을 밀폐된, 폭발 방지 기능이 있는 석영 케이스로 감싸둡니다. 이는 전기 부품들을 화학 물질과 완전히 분리시켜주는 역할을 합니다. 또한, 전극 연결 부위에도 특수 실란트를 사용하여 기체가 내부로 들어오는 것을 막습니다.
적절한 온도 유지
이 램프들은 단파 적외선을 사용합니다. 이 방식의 장점은 에너지가 직접 웨이퍼에 전달된다는 점입니다. 주변의 공기나 화학 물질을 가열하는 데 시간이 낭비되지 않습니다.
에너지가 집중되기 때문에, 램프의 외부 온도는 세정용 화학 물질의 자연 발화점보다 낮게 유지됩니다. 이는 훨씬 더 안전한 가열 방식입니다.
하지만 여전히 공기 흐름을 주의해야 합니다. 만약 환기가 제대로 되지 않아 증기가 쌓인다면, 밀폐된 램프라도 표면 온도가 너무 높아질 수 있습니다. 그래서 우리는 이 램프와 함께 온도 센서도 사용합니다. 이 센서는 과열을 방지하는 안전장치 역할을 합니다.
장비의 관리
우리는 이 램프들을 그대로 교체할 수 있도록 설계했습니다. 따라서 전체 설비를 다시 설계할 필요가 없습니다. 우리는 전선들을 난연성 커넥터를 통해 연결합니다. 긴 생산 과정 중에 케이블이 손상되는 것을 방지하기 위함입니다.
이 램프들이 부식성이 강한 환경에 놓여 있기 때문에, 유리 표면을 보호하기 위한 처리를 합니다.
한 가지 팁: 유리 표면을 자주 확인해보세요. 만약 유리가 흐려진다면, 열 전달 효율이 떨어집니다. 그러면 램프는 더 많은 에너지를 사용해야 하며, 그 결과 조기에 고장날 수 있습니다. 500시간마다 석영 표면을 꼭 확인해보세요. 그러면 장비가 더 오래 사용될 것입니다.