MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 골치 아픈 문제 없이 건조시키는 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 것은 꽤 까다로운 작업입니다. 물기를 빠르게 제거해야 하지만, 너무 강한 열을 가하면 웨이퍼가 변형되거나 전체 제품에 오염이 생길 수 있습니다. 핵심은 열이 정확히 필요한 곳에...