Di lantai fabrikasi, langkah pembilasan adalah risiko yang dikawal. Air yang tertinggal bermakna mikro-kontaminasi, dan kitaran pengeringan yang lemah boleh memaksa kerja semula fotoresis—atau merosakkan hasil sebelum corak itu sampai ke wafer. Lampu pengering wafer selepas bilasan yang pantas dibina untuk menghapuskan ketidakpastian itu.
Apa yang penting di sebalik teknologi
Kami membangunkan ini berasaskan pemancar inframerah gelombang pendek (SWIR), jadi pengeringan berlaku dengan cepat dan tanpa sentuhan. Haba dipindahkan dengan pantas tanpa kemusnahan mekanikal, dan kami mengekalkan keseragaman suhu di seluruh wafer pada ±0.1°C. Ini penting apabila anda melindungi bajet terma fotoresis melalui peralihan soft bake dan hard bake.
Perkakasan ini sesuai untuk bilik bersih: serasi dengan kelas 1–100, tanpa penghasilan zarah. Output kekal stabil lebih daripada 5,000 jam, dengan drift kurang daripada 5% dalam intensiti. Dan kebolehulangan ditetapkan supaya tetingkap proses kekal konsisten setiap lot, setiap syif.
Mengapa ia berfungsi dalam pengeluaran
Dalam aliran bilas-kering-bake, kelajuan tidak boleh mengorbankan kebersihan. Lampu ini memendekkan tempoh pengeringan sambil mengekalkan integriti permukaan, yang membantu mengawal jarak pitch dengan lebih ketat dan mengurangkan jumlah kecacatan dalam litografi.
Ia juga cekap: tindak balas SWIR adalah terus, jadi penggunaan tenaga berkurang. Masa operasi bertambah baik kerana sistem ini dibina untuk operasi 24/7, dengan selang penyelenggaraan yang boleh dirancang. Bagi anda, ini bermakna kurang gangguan, kawalan dimensi kritikal yang lebih ketat, dan pengurangan masa kitaran yang boleh diukur.
Apa yang perlu anda betulkan
Lampu ini boleh dipasang dengan kemas, tetapi penjajaran kepada modul bilasan mesti tepat, dan laluan ekzos perlu disahkan—anda mahu mengalirkan wap lembapan jejak tanpa sebarang pengendapan semula. Ia berfungsi dengan antara muka fab standard, tetapi profil terma mesti ditala mengikut susunan substrat. Kaca, silikon, dan substrat pembungkusan lanjutan masing-masing memerlukan peta setpoint tersendiri.
Rancang satu larian komisioning pendek untuk mengunci resipi. Kemudian pastikan ia kekal terkunci untuk kebolehulangan.