Di tingkat pengeluaran, perubahan suhu sebanyak 0.5°C semasa proses pembakaran lembut atau keras sudah cukup untuk menyebabkan CD bergerak, lapisan permukaan menjadi tidak rata, dan banyak wafer menjadi tidak boleh digunakan. Termokopel yang terdapat pada pemanas semikonduktor bukanlah alat tambahan; ia merupakan alat yang membantu mengawal suhu agar tetap berada dalam julat yang ditetapkan, dari satu sesi ke sesi yang lain, dari satu jam ke jam yang lain.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Kami mencipta termokopel ini berdasarkan cara kerja pemanasan semikonduktor yang efektif: tindak balas yang cepat, output yang stabil, serta kemampuan untuk menanggung beban haba secara berulang-ulang tanpa rosak. Reka bentuk termokopel ini memastikan penghasilan zarah-zarah berbahaya dapat dikurangkan, sehingga jumlah zarah di bilik bersih tetap terkawal. Proses kalibrasi dan kawalan perubahan suhu dilakukan agar ketepatan pengukuran dapat dicapai pada tahap ±0.1°C. Ini seterusnya memastikan keseragaman suhu di kawasan panas tersebut. Hasilnya, proses pembakaran dapat dilakukan secara konsisten, dan kualiti wafer dapat dipastikan.
Mengapa ia berfungsi dengan baik dalam praktik
Dalam proses litografi dan pengolahan bahan resistensi, keseragaman suhu merupakan faktor penting dalam kawalan proses. Isyarat termokopel yang stabil membolehkan pengawal suhu mempertahankan nilai tetap suhu dengan minimum penyimpangan, sekali gus melindungi kualiti produk. Dalam operasi 24/7, reka bentuk termokopel ini direka agar tidak ada masa henti yang tidak dijangka, dengan jangka hayat yang mencapai puluhan ribu jam. Bahan-bahan yang digunakan sesuai untuk digunakan di bilik bersih, sehingga tidak akan ada pencemaran. Akibatnya, jumlah wafer yang tidak boleh digunakan berkurangan, kerja-kerja pembaikan juga berkurangan, dan jarak waktu servis dapat dirancang dengan lebih baik.
Apa yang perlu diingat
Posisi pemasangan termokopel sangat penting. Tempat pemasangan termokopel berbanding dengan permukaan pemanas dan permukaan wafer akan mempengaruhi dinamika sistem dan keseragaman suhu. Oleh itu, kami menyediakan panduan pemasangan yang sesuai dengan reka bentuk bilik dan alat yang digunakan. Termokopel juga perlu diperiksa secara berkala menggunakan standard rujukan untuk memastikan ketepatannya. Selepas servis besar pada alat atau apabila blok pemanas diganti, mungkin diperlukan penyesuaian sedikit pada nilai tetap suhu. Ini merupakan perkara biasa, dan mudah dikendalikan melalui prosedur kalibrasi yang ada.