Op de lithografieafdeling doet het ‘bake-module’ geen uitzonderingen. Tijdens het zachte bakken wordt de spanning in de fotoresist verminderd en worden er oplosmiddelen verwijderd. Tijdens het harde bakken wordt het profiel van de fotoresist vastgelegd, voordat het etappes proces begint. Als het verwarmings-element van Axcelis niet nauwkeurig werkt, neemt de temperatuuroneffenheid toe. Hierdoor ontstaan er oneffenheden op het chipoppervlak. De opbrengst van het product daalt al voordat het etappes proces zelfs maar kan beginnen.
Wat technisch gezien belangrijk is: We gebruiken reserveonderdelen voor de Axcelis-verwarmingselementen om de temperatuur nauwkeurig te kunnen regelen. Kwartssubstraten met kortegolf- of middengolf-IR-lichtbronnen zorgen voor een snelle temperatuurstijging met weinig thermische inertie. Het doel is om een temperatuuroneffenheid van ±0,1°C te bereiken over het hele oppervlak van de chip. Op deze manier blijven de profielen van de fotoresist consistent van batch tot batch. Het element werkt bij de vereiste spanning en vermogensdichtheid, zonder dat er warmteplekken ontstaan. De geometrie van het pakket past perfect bij het originele model – inclusief montagepunten en verbindingselementen. De materialen zijn geschikt voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. Bovendien wordt er zo min mogelijk stof gegenereerd.
Waarom dit in de praktijk werkt: Je gebruikt dezelfde apparatuur, dezelfde processtappen en dezelfde kwaliteitscontroles. Dankzij een stabiele temperatuurregeling wordt de solvent efficiënt verwijderd tijdens het zachte bakken. Het harde bakken zorgt er bovendien voor dat het profiel van de fotoresist constant blijft. Hierdoor zijn er minder problemen en minder afval. Je hebt ook betere controle over de concentratie van de fotoresist. Het element blijft stabiel tijdens 24/7 operationele omstandigheden, zodat je geen last meer hebt van onvoorspelbare temperatuurschommelingen en ongeplande stilstandsperioden. De energieverbruik blijft laag, omdat de warmteoverdracht efficiënt verloopt en het element zich houdt aan het ingestelde temperatuurniveau.
De details die belangrijk zijn: De installatietoleranties zijn zeer streng. Controleer goed de oriëntatie van de connectoren, de druk waaronder ze zitten en de alignering van de thermocouples. Anders loop je het risico op lokale oververhitting en onnauwkeurige metingen. Voordat je weer met productie begint, moet je controleren of de luchtdichte afsluiting van de bakkluis in orde is. Een lekkende afsluiting kan de thermische omstandigheden veranderen en de echte prestaties van het element verbergen. Zorg ervoor dat het reserveonderdeel precies past bij het Axcelis-model en de versie, zodat het thermische profiel en de kwaliteitscontroles behouden blijven.