Houd je wafers schoon: de waarheid over de verwarmingselementen in transportkarretjes
In een fabriek met hoge productiecapaciteit is een kapotte infraroodlamp in een transportkarretje meer dan alleen een lastig probleem – het is een nachtmerrie.
Wanneer een kwartsbuis barst, barst deze niet alleen, maar er spatten ook microscopisch kleine glasdeeltjes en elektrodenresten overal heen. Als dit de wafers raakt, leidt dat tot grote schade. We hebben onze verwarmingselementen speciaal ontworpen om te voorkomen dat dit gebeurt.
Het voorkomen van problemen
We gebruiken hoogzuiver gefuseerd kwarts, zodat deze het constante opwarmen en afkoelen kan doorstaan. Maar het echte geheim zit in de tweede beschermlaag. Denk erbij aan een soort veiligheidsnet. Als de binnenste lamp barst of uitvalt, vangt deze laag al het vuil op. De glaskruimels blijven op hun plek, zodat je siliciumwafers intact blijven. Het is erg simpel.
Omgaan met hitte
De meeste lampen falen omdat ze te heet worden op bepaalde punten. We hebben dit opgelost door de geometrie van de elektroden aan te passen. Door de hitte gelijkmatig over het filament te verdelen, voorkomen we dat er gevaarlijke ‘ hete punten’ ontstaan. We hebben ook de leidingen versterkt. Waarom? Omdat transportkarretjes trillen wanneer ze zich bewegen, en dit kan leiden tot scheuren in de afsluitingen als deze niet sterk genoeg zijn.
Het evenwicht vinden
Je hebt veel vermogen nodig om de wafers op de juiste temperatuur te houden tijdens het transport. Maar het is risicovol om een lamp tot zijn limiet te drijven. Als de koelingssnelheid even afneemt, loop je het risico op thermische schokken. Zorg er dus voor dat de ventilatie van het transportkarretje in staat is om de hittebelasting aan te kunnen. Anders zal de levensduur van de lamp snel afnemen.
Gemakkelijk vervangen
Niemand wil urenlang bezig zijn met het opnieuw kalibreren van een verwarmingsapparaat, alleen omdat één apparaat kapot is gegaan. Daarom gebruiken we gestandaardiseerde connectoren. Je hoeft alleen maar een vervangend apparaat in te zetten en alles werkt weer. We hebben ook geprobeerd de afmetingen zo klein mogelijk te houden, zodat de beschermlaag de laadmechanismen niet belemmert. Het werkt gewoon.