Na podłożu litowym nawet półstopniowa odchylenia podczas procesu cieplnego wystarczą, aby zmienić wartość CD i uszkodzić wiele dobrych płytek krzemowych. Stworzyliśmy specjalne lampy do podgrzewania płytek krzemowych, które eliminują takie odchylenia na samym początku procesu – to pozwala na precyzyjną kontrolę temperatury bez konieczności zgadywania.
Co jest istotne w tym systemie Używamy halogenowych lamp o krótkich falach podczerwonych umieszczonych w kwarcowym osłonie. Proces podgrzewania przebiega szybko, a temperatura pozostaje stała. Jednorodność temperatury na powierzchni płytki krzemowej wynosi ±0,1°C w całej obszarze oświetlonym, dzięki czemu temperatura fotorezystu jest kontrolowana zgodnie z ustalonymi parametrami, a nie przez same urządzenie.
System jest kompatybilny z warunkami panującymi w pomieszczeniach klasy czystości od 1 do 100. Wybrane elementy i materiały zapewniają minimalną ilość cząstek powstających w trakcie pracy urządzenia. Dzięki temu uzyskujemy wysoką powtarzalność wyników nawet przy pracy 24/7. Dane dotyczące żywotności urządzenia pokazują, że jego efektywność pozostaje stabilna nawet po 5 000 godzinach pracy.
Dlaczego system sprawdza się w produkcji Podczas procesów delikatnego i intensywnego podgrzewania lampa kontroluje termiczną sytuację w urządzeniu, co wpływa na usunięcie rozpuszczalników, proces przechodzenia skła w stan plastyczny oraz selektywność procesu etchingu. Dzięki temu uzyskujemy lepszą kontrolę wartości CD, mniejszą liczbę defektów oraz mniej produktów wymagających ponownej obróbki.
Szybka reakcja termiczna oraz efektywna praca lampy o krótkich falach podczerwonych redukują zużycie energii. Czas pracy urządzenia wzrasta, ponieważ lampa może pracować przez dłuższy czas, a okna konserwacji są przewidywalne.
Praktyczne szczegóły Najlepszą jednorodność uzyskujemy, gdy droga optyczna jest zorientowana wzdłuż płaszczyzny płytki krzemowej, a geometria reflektora odpowiada specyfice procesu. Oczekujmy krótkiego czasu przygotowania urządzenia przed rozpoczęciem procesu podgrzewania.
Trzeba również uwzględnić wymagania energetyczne urządzenia oraz jego kompatybilność z innymi elementami – dostarczamy instrukcje dotyczące podłączeń, aby pasowały one do obecnej konfiguracji platformy.