Porzućmy zatem metody oparte na gorącym powietrzu – dlaczego termopompy podczerwone są lepszym rozwiązaniem? Jeśli nadal używasz takich metod do obróbki półprzewodników, zapewne zauważyłeś powolność tego procesu. To frustrujące – musisz czekać, aż cała komora oraz każda cząsteczka powietrza w niej się nagrzeją, zanim płytki będą mogły odczuć ciepło. To powolny proces, który hamuje postępy w pracy.
Dlatego przenieśliśmy się na termopompy podczerwone. Po prostu eliminujemy powietrze z całej sytuacji.
Szybkość jest niesamowita. Pomyśl o tym w ten sposób: termopompy podczerwone wykorzystują promieniowanie elektromagnetyczne. W próżni nie ma nic, co mogłoby przeszkodzić temu promieniowaniu. Fotony trafiają bezpośrednio na substrat. Nie ma potrzeby „podgrzewania pomieszczenia” ani czekania na prąd powietrza, który mógłby przenieść ciepło. Otrzymujesz natychmiastową reakcję termiczną.
Dla kierownika zakładu to prawdziwy sen. Czas przygotowania skraca się z 20 minut do kilku sekund.
Ale nie możesz po prostu zamontować tam pierwszej lepszej lampy. Środowisko próżniowe jest bardzo wymagające pod względem sprzętu. Używamy elementów kwarcowych o wysokiej gęstości mocy, aby skoncentrować ciepełko. Ale ponieważ nie ma powietrza, które mogłoby odprowadzić nadmiar ciepła, sprzęt musi znosić duże obciążenia.
Patrz też na system chłodzenia. Jeśli system chłodzenia nie jest wystarczająco efektywny, doszczętnie uszkodzisz elementy montażowe komory lub uszkodzisz uszczelki. To naprawdę kłopotliwe.
A co najlepsze? Rozmiary urządzeń zmniejszają się. Możesz odrzucić te ogromne wentylatory i całą tę skomplikowaną infrastrukturę. Wystarczy podłączyć termopompy, ustawić odpowiednie parametry sterowania, i gotowe.
Jednak jest jeden problem: jednorodność ciepła. Promieniowanie podczerwone ma określoną kierunkowość, więc jeśli nie będziesz uważny, możesz mieć problemy z nierównomiernym rozkładem ciepła. Rozwiązujemy to poprzez użycie reflektorów pokrytych złotem lub układów o różnych kątach padania światła, aby ciepło mogło równomiernie rozprzestrzeniać się po elementach.
Ponadto istnieje jeszcze kwestia czystości. Gdy przestajesz kręcić powietrze, przestajesz też poruszać cząstkami pyłu i inne zanieczyszczenia wokół elementów, które są przygotowywane do obróbki. Bez zanieczyszczeń, bez ryzyka. Tylko czyste, bezpośrednie promieniowanie.