Aquecimento de wafers sem causar explosões
Aquecer wafers durante um processo de limpeza química é algo bastante delicado. É preciso controlar com precisão a temperatura, mas isso precisa ser feito bem perto de solventes inflamáveis. Isso pode levar a situações perigosas se não houver cuidado. Para garantir a segurança, usamos lâmpadas infravermelhas especializadas, que não provocam ignição nesses ambientes perigosos.
O sistema “sem faíscas”
A maioria das lâmpadas infravermelhas possui um filamento exposto, o que significa que o filamento está diretamente em contato com o ar. Em um ambiente de limpeza química, uma pequena faísca ou superfície quente pode causar um incêndio.
Nós evitamos isso. Em vez disso, envolvemos tudo em um invólucro de quartzo à prova de explosões. Trata-se de um escudo que isola completamente os componentes elétricos dos vapores químicos. Também utilizamos selantes especiais nas conexões dos elétrodos, para impedir que gases entrem no equipamento.
Mantendo a temperatura sob controle
Essas lâmpadas utilizam radiação infravermelha de onda curta. A vantagem é que a energia vai direto para o wafer, sem desperdiçar energia aquecendo o ar ou os solventes ao redor. Como a energia é tão concentrada, a superfície externa da lâmpada permanece abaixo do ponto de ignição dos agentes químicos utilizados. É uma maneira muito mais segura de gerar calor.
Mas ainda assim é preciso controlar o fluxo de ar. Se os dutos de ventilação falharem e os vapores começarem a se acumular, até mesmo uma lâmpada selada pode se tornar perigosa, caso a superfície fique muito quente. Por isso, combinamos essas lâmpadas com sensores térmicos integrados. Eles funcionam como uma espécie de “rede de segurança”, garantindo que nada se superaqueça.
Como cuidar do equipamento
Criamos essas lâmpadas para que possam ser substituídas facilmente, sem precisar redesenhar todo o sistema. Os cabos são inseridos em tubos refratários ao fogo – afinal, ninguém quer que os cabos queimem durante um processo de produção prolongado.
Como essas lâmpadas funcionam em um ambiente corrosivo, tratamos a camada externa de quartzo para evitar que os produtos químicos danifiquem o vidro.
Uma dica importante: verifique regularmente o estado do vidro. Se ele ficar turvo, a transferência de calor diminui. Nesse caso, a lâmpada precisa trabalhar mais duro e esquentar ainda mais, o que geralmente leva ao seu desgaste prematuro. Verifique o quartzo a cada 500 horas para garantir que ele continue claro. Seu equipamento vai agradecer!