На этапе литографии модуль для прокаливания фотополимера не допускает никаких отклонений. Процедура мягкого прокаливания устраняет напряжения в фотополимере и удаляет растворители; процедура жесткого прокаливания фиксирует его структуру перед этапом эчинга. Если элемент нагревателя Axcelis смещается, единообразие температуры на поверхности пластинки нарушается. Это приводит к смещению координат центра пластинки, а также к появлению избыточного слоя на краях пластинки. Качество продукции снижается ещё до того, как оборудование для эчинга успевает воздействовать на пластинку.
Что имеет значение с технической точки зрения Мы используем запасные элементы нагревателя Axcelis для обеспечения стабильности температуры. Кварцевые подложки в сочетании с источниками инфракрасного излучения короткой или средней длины волны позволяют быстро достигать нужной температуры при минимальной тепловой инерции. Цель состоит в том, чтобы единообразие температуры на поверхности пластинки составляло ±0,1°C во всей активной зоне. Это позволяет сохранять стабильность параметров фотополимера при производстве разных партий продукции. Элемент работает при заданном напряжении и мощности без возникновения горячих точек. Геометрия корпуса элемента соответствует оригинальной конструкции, включая элементы крепления и контакты. Материалы, используемые в производстве, соответствуют требованиям чистых помещений класса 1–100, что позволяет сводить количество частиц до минимума.
Почему это работает на практике Вы можете использовать ту же технику, ту же схему обработки и тот же уровень калибровки. Благодаря стабильному контролю температуры процедура мягкого прокаливания эффективно удаляет растворители, а процедура жесткого прокаливания фиксирует структуру фотополимера без колебаний. Это приводит к снижению количества бракованных изделий и к более точному контролю координат центра пластинки. Элемент нагревателя сохраняет стабильность при непрерывной работе 24/7, что позволяет избежать периодических смещений температуры и связанных с этим простоев оборудования. Использование энергии также снижается за счет эффективной передачи тепла, а элемент нагревателя сохраняет заданную температуру без ее превышения.
Важные детали Допуски при установке элемента нагревателя очень строги. Необходимо убедиться в правильном расположении разъемов, правильном давлении при креплении элемента и правильной выровненности термопар. В противном случае может возникнуть локальное перегревание, что приведет к ошибкам в измерениях. Перед возобновлением производства необходимо проверить герметичность камеры прокаливания; утечка воздуха может изменить тепловую среду и скрыть реальные характеристики элемента нагревателя. Запасной элемент должен соответствовать точной модели и версии Axcelis, чтобы тепловые характеристики элемента оставались неизменными.