На литографическом столе даже небольшое смещение в полупроцента во время процедуры мягкой обработки может привести к изменению параметров CD-параметров и к повреждению большого количества качественных пластин. Мы разработали специальные лампы для нагрева пластин, которые помогают минимизировать такие смещения — они обеспечивают точный контроль температуры без необходимости предположений.
Что действительно важно
Мы используем галогеновые лампы с коротковолновым инфракрасным излучением, помещенные в кварцевый корпус. Процесс нагрева происходит быстро, а температура остается стабильной. Равномерность температуры на поверхности пластины составляет ±0,1°C во всей освещаемой зоне; таким образом температура фоторезиста соответствует заданным параметрам, а не зависит от характеристик оборудования.
Система подходит для использования в чистых помещениях класса от 1 до 100. Используемые компоненты и материалы выбраны таким образом, чтобы минимизировать количество частиц в воздухе. Это обеспечивает стабильность качества продукции даже при круглосуточной работе. Ресурс оборудования составляет более 5,000 часов, при этом спектральные характеристики остаются стабильными.
Почему система эффективна в производстве
В процедурах мягкой и жесткой обработки лампа контролирует температурные параметры, необходимые для удаления растворителей, достижения состояния стекла и обеспечения выборочности этичинга. Это позволяет получать более высокий уровень контроля над параметрами CD, снижать количество дефектов и уменьшать количество необходимых переработок.
Быстрая реакция системы на изменения температуры и эффективное использование света снижают расход энергии. Кроме того, благодаря возможности длительной работы лампы с предсказуемыми интервалами технического обслуживания, сокращается время простоя оборудования.
Практические аспекты
Лучшая равномерность температуры достигается при правильной настройке оптической траектории относительно плоскости пластины, а также при соответствии геометрии отражателя требованиям процесса. Потребуется некоторое время на разогрев оборудования перед началом процедуры обработки.
Необходимо учитывать потребление энергии оборудования и совместимость с другими компонентами системы. Мы предоставляем инструкции по подключению оборудования к существующей инфраструктуре.