Как сохранить чистоту инфракрасных нагревателей
Если вы работаете в чистой комнате класса 100, вы уже знаете правила: даже одна крошечная пылинка или странный химический пар могут уничтожить весь продукт.
Что касается нагревателей для полупроводников, большинство людей сосредотачивается на использовании кварцевых ламп высокой чистоты. И это действительно важно. Но есть ещё один фактор – сама лампа является лишь частью решения проблемы. Настоящие проблемы возникают из-за проводов, которые подают электроэнергию на филамент тунгстена.
Скрытый виновник проблем: изоляция проводов
Стандартные PVC- или силиконовые изоляторы не могут выдержать высокую температуру инфракрасной лампы. Со временем такая изоляция начинает разрушаться, что приводит к появлению летучих органических соединений и микроскопических частиц. В производстве полупроводников эти частицы остаются на поверхности пластины, что снижает качество продукта.
Мы решили эту проблему, перейдя на использование проводов с изоляцией из тефлона (ПТФЭ). Этот материал химически инертен и сохраняет свои свойства даже при высоких температурах. Он не выделяет газы и не плавится при максимальной работе лампы. Если использовать ПТФЭ вместе с кварцем высокой чистоты, можно полностью избавиться от проблем, связанных с воздушными частицами.
Реальность высоких температур
Для обеспечения стабильного излучения мы используем корпуса из высокочистого SiO2. Это предотвращает появление желтого оттенка, который бывает у дешевого стекла. Без этого длина волны инфракрасного излучения меняется, что приводит к неравномерному нагреву поверхности пластины.
Но необходимо правильно располагать провода. Хотя ПТФЭ способен выдерживать высокие температуры, у него все же есть предел прочности. Если провода расположены слишком близко к корпусу лампы без защитного слоя, это может привести к проблемам. Мы рекомендуем оставлять определенный зазор, чтобы температура проводов не превышала 260°C.
Как использовать эти устройства
Эти устройства предназначены для замены обычных устройств для высыхания и завершения процесса производства. Ничего сложного в использовании нет.
Мы также используем контакты, покрытые золотом или никелем. Почему? Потому что окисление на контактах вызывает серьезные проблемы. Сохраняя чистоту контактов, мы обеспечиваем стабильный поток тока и предотвращаем возникновение искр. Как мы уже говорили, в чистой комнате последнее, что нужно, – это металлические частицы, летающие в воздухе.