วิธีรักษาความสะอาดของเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดให้ดีที่สุด
หากคุณใช้ห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 100 คุณก็คงรู้ดีว่า แม้จะมีฝุ่นเพียงเม็ดเล็กๆ หรือไอเคมีที่ไม่พึงประสงค์เพียงเล็กน้อย ก็อาจทำให้ผลิตภัณฑ์ของคุณเสียหายได้
สำหรับการใช้เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ คนส่วนใหญ่มักให้ความสำคัญกับหลอดไฟอินฟราเรดที่มีความบริสุทธิ์สูง และนั่นก็เป็นเรื่องสำคัญจริงๆ แต่ที่จริงแล้ว หลอดไฟเป็นเพียงส่วนหนึ่งเท่านั้น ปัญหาที่แท้จริงมักเกิดจากสายไฟที่ใช้ส่งพลังงานไปยังเส้นลวดทังสเตน
ตัวการที่ซ่อนอยู่: วัสดุฉนวน
สายไฟที่ทำจาก PVC หรือซิลิโคนธรรมดานั้นไม่สามารถทนความร้อนจากหลอดไฟอินฟราเรดได้เลย ในที่สุดวัสดุฉนวนเหล่านั้นก็จะเสื่อมสภาพ และนั่นก็จะก่อให้เกิดปัญหาต่างๆ ออกมา เช่น การปล่อยก๊าซอินทรีย์ระเหยง่าย (VOCs) และการหลุดลอกของเศษฝุ่นขนาดเล็ก
ในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เศษฝุ่นเหล่านี้ไม่ได้หายไปไหน แต่จะตกลงมาบนวัสดุที่ใช้ในการผลิต และนั่นก็จะทำให้ประสิทธิภาพในการผลิตลดลง
เราแก้ปัญหานี้ด้วยการเปลี่ยนมาใช้สายไฟที่มีวัสดุฉนวนจาก Teflon (PTFE) ซึ่งมีคุณสมบัติทางเคมีที่เสถียร แม้ในสภาพอุณหภูมิสูงก็ตาม สายไฟชนิดนี้จะไม่ปล่อยก๊าซออกมา และจะไม่ละลายหรือหยดเมื่อหลอดไฟทำงานที่อุณหภูมิสูงสุด การใช้ PTFE ร่วมกับหลอดไฟที่มีความบริสุทธิ์สูง จะช่วยลดแหล่งกำเนิดของฝุ่นในอากาศได้อย่างมีประสิทธิภาพ
ความเป็นจริงเกี่ยวกับความร้อน
เราใช้ฉนวนที่ทำจาก SiO2 ความบริสุทธิ์สูงเพื่อรักษาความสม่ำเสมอของแสงจากหลอดไฟ วิธีนี้จะช่วยลดปัญหา “สีเหลือง” ที่เกิดจากกระจกคุณภาพต่ำได้ หากไม่มีฉนวนนี้ ความยาวคลื่นของแสงอินฟราเรดก็จะเปลี่ยนไป และทำให้การให้ความร้อนไม่สม่ำเสมอ
แต่คุณก็ต้องระมัดระวังในการวางสายไฟด้วย แม้ว่า PTFE จะทนความร้อนได้ดี แต่ก็ยังมีจุดที่จะเสียหายได้ หากคุณวางสายไฟใกล้กับฉนวนมากเกินไปโดยไม่มีการป้องกันความร้อน ก็จะก่อให้เกิดปัญหาได้ เราแนะนำให้เว้นระยะห่างเพื่อให้อุณหภูมิของสายไฟอยู่ที่ไม่เกิน 260°C
วิธีการใช้งานในระบบของคุณ
อุปกรณ์เหล่านี้ถูกออกแบบมาให้สามารถใช้แทนอุปกรณ์ที่ใช้ในการอบแห้งได้โดยตรง ไม่ต้องมีการปรับแต่งอะไรเพิ่มเติม
เรายังใช้ตัวเชื่อมต่อที่เคลือบทองหรือนิกเกิลด้วย เพราะการเกิดปฏิกิริยาออกซิเดชันที่จุดเชื่อมต่อนั้นเป็นปัญหาใหญ่ การรักษาความสะอาดของจุดเชื่อมต่อจะช่วยให้กระแสไฟฟ้าไหลได้อย่างสม่ำเสมอ และป้องกันไม่ให้เกิดประกายไฟได้ ดังนั้น ในห้องปลอดภัย สิ่งสุดท้ายที่คุณต้องการก็คือฝุ่นหรือเศษโลหะที่ลอยอยู่ในอากาศนั่นเอง