Fabrika katında, durulama adımı kontrollü bir risk unsuru olarak değerlendirilir. Kalan su, mikro-kontaminasyona yol açar ve zayıf bir kurutma döngüsü, fotoresist yeniden işleme gerektirebilir ya da desen wafer’a ulaşmadan önce verim kaybına neden olabilir. Hızlı kuruyan durulama sonrası wafer lambası, bu belirsizliği ortadan kaldırmak için tasarlandı.
Motorun altında önemli olanlar
Bu sistemi kısa dalga kızılötesi (SWIR) yayıcılar etrafında kurduk; böylece kurutma hızlı ve temassız gerçekleşiyor. Isı mekanik hasar olmadan hızla transfer edilir ve wafer boyunca termal uniformiteyi ±0.1°C’de tutuyoruz. Bu, fotoresist termal bütçesini soft bake ve hard bake geçişleri sırasında korumak için kritik öneme sahiptir.
Donanım temizoda uyumludur: Class 1–100 standartlarına uygundur ve sıfır partikül üretir. Çıkış gücü 5,000+ saat boyunca stabil kalır ve yoğunlukta %5’ten az bir sapma gösterir. Tekrarlanabilirlik, parti ve vardiya fark etmeksizin proses penceresini tutarlı kılacak şekilde spesifiye edilmiştir.
Üretimde neden böyle davranır
Durulama-kurutma-pişirme akışında hız, temizlikten ödün veremez. Bu lamba, kurutma süresini kısaltırken yüzey bütünlüğünü korur; bu da pitch kontrolünü sıkılaştırmaya ve litografi defekt sayılarını azaltmaya yardımcı olur.
Ayrıca verimlidir: SWIR tepki doğrudandır, böylece enerji tüketimi azalır. Sistem 7/24 çalışma için tasarlandığından çalışma süresi artar ve bakım aralıkları planlanabilir. Bu da sizin için daha az sapma, daha sıkı kritik boyut kontrolü ve ölçülebilir çevrim zamanı kısalması anlamına gelir.
Doğru yapılması gerekenler
Lamba entegre edilirken temizdir, ancak durulama modülüne hizalanması kesin olmalıdır ve egzoz yolu doğrulanmalıdır—iz nem buharını geri depoze olmadan uzaklaştırmak istersiniz. Standart fabrika arayüzleriyle çalışır, ancak termal profil her alt tabaka yığınına göre ayarlanmalıdır. Cam, silikon ve gelişmiş paketleme alt tabakalarının her biri için ayrı setpoint haritası gereklidir.
Reçeteyi sabitlemek için kısa bir devreye alma çalışması planlayın. Ardından tekrarlanabilirlik için reçeteyi kilitli tutun.