На літографічному полі під час процедури м’якого випалювання достатньо лише напівградусового зміщення температури, щоб це призвело до зміни параметрів CD та пошкодження багатьох якісних пластин. Ми розробили спеціальні лампи для нагріву пластин, які дозволяють усунути таке зміщення на самому початку процесу – це забезпечує точний контроль температури без необхідності використання припущень.
Що є важливим у конструкції системи
Ми використовуємо галогенові лампи з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням, які розташовані всередині кварцових корпусів. Процес нагрівання відбувається швидко, а стабільний рівень температури підтримується протягом усього часу роботи. Рівномірність температури на поверхні пластини становить ±0,1°C у всій освітленій зоні; завдяки цьому температура фоторезисту контролюється відповідно до заданих параметрів, а не залежно від характеристик обладнання.
Система сумісна з приміщеннями класу від 1 до 100. Використовуються матеріали та елементи, які мінімізують утворення частинок. Це забезпечує стабільність результатів навіть під час 24/7 роботи. Дані щодо терміну служби показують, що спектральна потужність залишається стабільною протягом понад 5 000 годин.
Чому система ефективна в промислових умовах
Під час процедур м’якого та жорсткого випалювання лампа контролює температурний баланс, який впливає на процес видалення розчинників, перехід скла у плавний стан та селективність етchingу. Це призводить до кращого контролю параметрів CD, зниження кількості дефектів та меншої кількості необхідних корекцій під час обробки пластин.
Швидка температурна реакція та ефективне використання короткохвильового інфрачервоного випромінювання дозволяють зменшити споживання енергії. Також покращується тривалість роботи обладнання, оскільки лампа може працювати протягом довгого часу з передбачуваними інтервалами технічного обслуговування.
Практичні аспекти
Найкраща рівномірність досягається тоді, коли оптичний шлях суміщений з площиною пластини, а геометрія відбивача відповідає вимогам процесу. Перед початком регулювання параметрів випалювання необхідно провести короткий період розігріву для стабілізації температурних параметрів.
Необхідно також враховувати потужність обладнання та його сумісність з іншими компонентами. Ми надаємо інструкції щодо підключення обладнання до вашої системи.