На поверхні плити для виробництва достатньо лише 0,5°C зміни температури під час процедур м’якого чи жорсткого нагрівання, щоб це призвело до зсуву положення CD-дисків, порушення їх правильного розташування та перетворення великої кількості пластин на непридатні для використання продукти. Термопари на нагрівачах з напівпровідниковими елементами є не просто додатковими компонентами – вони є елементом зворотного зв’язку, який дозволяє підтримувати температуру в заданих межах протягом усього процесу.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми розробляємо ці термопари з урахуванням особливостей роботи нагрівачів з напівпровідниковими елементами: швидка реакція, стабільний сигнал та здатність витримувати циклічні навантаження без втрати функціональності. Геометрія з’єднань та матеріал оболонки обираються так, щоб мінімізувати утворення частинок та випаровування речовин, що дозволяє підтримувати належний рівень чистоти в приміщенні. Калібрування та контроль змін температури здійснюються так, щоб досягти стабільності в межах ±0,1°C, що сприяє кращій однорідності температури в всій зоні нагрівання. Це дозволяє отримувати стабільні результати при процесі нагрівання фоторезисту, забезпечує послідовність процесу анілювання та можливість передбачуваного проведення термічних циклів.
Чому це ефективно на практиці
У процесах літографії та обробки фоторезисту однорідність температури є ключовим фактором контролю якості. Стабільний сигнал від термопари дозволяє контролеру підтримувати задану температуру з мінімальними відхиленнями, що запобігає пошкодженню поверхні пластин та забезпечує високу якість продукції. У режимі 7×24 години цей пристрій розрахований на безперервну роботу протягом десятків тисяч годин. Матеріали та конструкція пристрою дозволяють його використання в приміщеннях класу 1–100 без додавання забруднювачів. Це призводить до меншої кількості непридатних продуктів, меншої кількості повторних операцій обробки та можливості планування інтервалів технічного обслуговування.
Що потрібно враховувати
Геометрія монтажу має значення. Місце розташування термопари відносно поверхні нагрівача та площини пластини впливає на характеристики процесу. Тож ми надаємо інструкції щодо монтажу, які відповідають конструкції вашої камери та обладнання. Термопари також потребують періодичної перевірки за допомогою стандартних зразків, щоб забезпечити їх точність. Після капітального технічного обслуговування обладнання чи зміни блоків нагрівання можуть виникнути незначні відхилення температури. Це є нормальним, і його можна легко скоригувати за допомогою наших процедур калібрування.