لیتھو فلور پر، نرم بیکنگ کے دوران صرف آدھے ڈگری کی حرکت بھی CD بیئس کو تبدیل کرنے کے لئے کافی ہے، اور اس سے بہت سے اچھے ویفرز تباہ ہو جاتے ہیں۔ ہم نے اپنے ویفر ہیٹنگ لیمپس کو اس طرح ڈیزائن کیا ہے کہ یہ اس حرکت کو ختم کر دیں؛ یعنی تھرمل کنٹرول ایسا ہے کہ درجہ حرارت مستقل رہتا ہے، بغیر کسی قسم کے اندازوں کے۔
جو چیزیں اہم ہیں: ہم کوارٹز کے خول میں شارٹ-ویو انفراریڈ (SWIR) ہیلوجن لیمپس استعمال کرتے ہیں۔ اس سے درجہ حرارت تیزی سے بڑھتا ہے، اور مستقل حالت برقرار رہتی ہے۔ ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے؛ اس طرح فوٹوریزسٹ کا درجہ حرارت بھی مطلوبہ سطح پر رہتا ہے، نہ کہ آلے کے درجہ حرارت کے مطابق۔
یہ سسٹم کلاس 1 سے لے کر کلاس 100 تک کے کلین روموں کے لئے موزوں ہے؛ آلات اور مواد ایسے منتخب کئے گئے ہیں کہ ذرات کی پیداوار کو صفر تک کم کیا جا سکے۔ 24/7 کام کرنے کے دوران بھی آؤٹ پٹ کی یکسانیت برقرار رہتی ہے، اور 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی اسپیکٹرل آؤٹ پٹ مستحکم رہتا ہے۔
پروڈکشن میں اس کی کارکردگی کیوں اچھی ہے؟ نرم بیکنگ اور سخت بیکنگ کے دوران، لیمپ، حل کی نکاسی، گلاس کی منتقلی، اور ایچنگ کی عملیات کو کنٹرول کرتا ہے۔ اس سے CD کنٹرول بہتر ہوتا ہے، خرابیوں کی تعداد کم ہوتی ہے، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے۔
تیز تھرمل ردِعمل اور موثر SWIR کپلنگ کی وجہ سے توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، اور لیمپ طویل دورانیے تک کام کر سکتا ہے، کیوں کہ اس کی دیکھ بھال کے لئے وقت مقرر ہوتا ہے۔
عملی تفصیلات: بہترین یکسانیت حاصل کرنے کے لئے، آپٹیکل پاθ کو ویفر کی سطح کے ساتھ ہم آہنگ کرنا ضروری ہے، اور ریفلیکٹر کی ساخت کو بھی عملیات کے مطابق ہی رکھنا ضروری ہے۔ بیکنگ پروفائل کو درست کرنے سے پہلے، لیمپ کو کچھ وقت کے لئے چلانا ضروری ہے تاکہ تھرمل سرکٹس مستحکم ہو جائیں۔
آلے کی بجلی کی ضروریات اور انٹرلاک سسٹم کے بارے میں بھی منصوبہ بندی کرنا ضروری ہے؛ ہم آپ کو وائرنگ سے متعلق رہنمائی فراہم کرتے ہیں تاکہ یہ آپ کے پلیٹ فارم سے مطابقت رکھے۔