Hãy ngừng lãng phí năng lượng đi: Tại sao các bộ phản xạ được phủ vàng lại quan trọng đến vậy?
Trong quy trình chế tạo wafer bán dẫn, việc lãng phí năng lượng là một sai sót nghiêm trọng trong thiết kế. Khi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại công suất cao, một lượng lớn năng lượng quý giá này bị lãng phí một cách vô ích. Năng lượng này không tác động vào mục tiêu mong muốn, mà chỉ biến mất trong máy móc. Chúng ta khắc phục điều này bằng cách sử dụng các bộ phản xạ được phủ vàng trong cấu trúc của bộ gia nhiệt.
Tại sao lại chọn vàng?
Aluminum là vật liệu tiêu chuẩn, vì giá rẻ và có sẵn ở khắp mọi nơi. Nhưng nó kém hiệu quả trong việc phản xạ ánh sáng hồng ngoại. Vàng thì khác – nó có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại một cách hiệu quả cao. Bằng cách phủ vàng lên lớp vỏ bằng thép không gỉ, chúng ta có thể đạt tỷ lệ phản xạ lên tới 98-99%. Thay vì để nhiệt lượng tụ lại trong vỏ máy, ánh sáng sẽ được phản xạ trở lại bề mặt wafer. Nhờ đó, wafer sẽ được làm nóng tốt hơn mà không cần phải tăng điện áp, từ đó giảm áp lực lên hệ thống.
Quy trình sản xuất
Chúng tôi sử dụng thép không gỉ chất lượng cao để chế tạo vỏ máy, vì bất kỳ vật liệu nào khác đều dễ bị biến dạng dưới tác động của nhiệt độ cao. Để phủ vàng lên bề mặt vỏ máy, chúng tôi sử dụng phương pháp phủ bằng chân không. Đây là cách duy nhất để đảm bảo rằng lớp phủ không bị bong tróc khi máy hoạt động trong điều kiện nhiệt độ cao.
Nhưng bạn cần chú ý đến kích thước của vùng phản xạ. Nếu điểm thu trung tâm quá nhỏ, ánh sáng sẽ tập trung ở một điểm cụ thể, gây ra hiện tượng “điểm nóng”. Đó là lý do tại sao chúng tôi rất chú trọng đến độ chính xác của kích thước vỏ máy. Điều này giúp đảm bảo rằng ánh sáng được phân bố đều trên toàn bộ bề mặt wafer.
Những điều cần lưu ý trong thực tế
Vàng không phải là vật liệu rẻ. Chi phí ban đầu để sản xuất sản phẩm sẽ cao hơn so với việc sử dụng aluminum. Nhưng bạn sẽ thu hồi chi phí đó thông qua việc giảm chi phí điện năng và thời gian hoạt động của máy. Đó chính là sự đầu tư vào hiệu suất.
Một lưu ý nữa: vàng khá mềm. Nếu nhân viên vệ sinh sử dụng các dụng cụ mài mòn để làm sạch vỏ máy, họ sẽ làm xước lớp phủ vàng, từ đó làm giảm khả năng phản xạ ánh sáng. Hãy sử dụng các dung dịch làm sạch được chấp thuận.
Cuối cùng, hãy đảm bảo rằng hệ thống làm mát hoạt động tốt. Nếu không, vỏ máy sẽ bị nóng quá mức, dẫn đến sự biến đổi về nhiệt độ, và wafer sẽ không được xử lý đồng đều. Và chẳng ai muốn điều đó cả.