Giữ cho thiết bị sưởi bằng tia hồng ngoại luôn sạch sẽ
Nếu bạn đang vận hành phòng sạch loại Class 100, bạn chắc hẳn đã biết rõ điều này: chỉ cần một hạt bụi nhỏ hoặc một chất hóa học nào đó xuất hiện, toàn bộ sản phẩm của bạn sẽ bị hỏng.
Trong lĩnh vực gia nhiệt cho linh kiện bán dẫn, hầu hết mọi người đều chú trọng đến việc sử dụng đèn hồng ngoại làm từ thạch anh có độ tinh khiết cao. Điều này rất quan trọng. Nhưng thực ra, đèn chỉ là một phần trong tổng thể hệ thống. Vấn đề thực sự nằm ở dây dẫn điện cung cấp năng lượng cho sợi dây tóc wolfram.
Kẻ gây hại ẩn giấu: Lớp cách điện
Các loại dây dẫn bằng PVC hoặc silicone thông thường không thể chịu được nhiệt độ cao của đèn hồng ngoại. Dần dần, lớp cách điện này sẽ bị hỏng, và lúc đó mọi thứ sẽ trở nên tồi tệ. Lớp cách điện này sẽ giải phóng các chất hữu cơ dễ bay hơi (VOCs), đồng thời tạo ra những mảnh vụn siêu nhỏ.
Trong nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn, những hạt vụn này không hề biến mất. Chúng sẽ rơi ngay lên bề mặt wafer. Điều này chính là nguyên nhân khiến hiệu suất sản xuất bị giảm sút.
Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng dây dẫn có lớp cách điện bằng Teflon (PTFE). Loại dây này có tính ổn định cao ngay cả khi nhiệt độ tăng cao. Nó không giải phóng khí độc và cũng không bị tan chảy hay rò rỉ khi đèn hoạt động ở mức nhiệt độ cao nhất. Khi kết hợp PTFE với thạch anh có độ tinh khiết cao, chúng ta có thể loại bỏ hoàn toàn các nguồn gây ô nhiễm trong không khí.
Thực tế về nhiệt độ
Chúng tôi sử dụng vỏ bọc bằng SiO2 có độ tinh khiết cao để giữ cho ánh sáng từ đèn luôn ổn định. Điều này giúp tránh tình trạng ánh sáng bị vàng do sử dụng thủy tinh kém chất lượng. Nếu không có lớp bảo vệ này, bước sóng hồng ngoại sẽ thay đổi, khiến việc gia nhiệt trở nên không đồng đều.
Nhưng bạn cũng cần chú ý đến vị trí đặt dây dẫn. Mặc dù PTFE có khả năng chịu nhiệt tốt, nhưng nó vẫn có giới hạn. Nếu bạn đặt dây dẫn quá gần vỏ bọc thạch anh mà không có lớp bảo vệ nhiệt, bạn sẽ gặp rắc rối. Chúng tôi khuyên nên để khoảng cách nhất định giữa dây dẫn và vỏ bọc thạch anh, để nhiệt độ dây dẫn không vượt quá 260°C.
Làm sao để thiết bị hoạt động tốt trong môi trường sản xuất
Các bộ phận này được thiết kế để thay thế dễ dàng cho các thiết bị sấy khô và xử lý trong quy trình sản xuất. Không cần phải lo lắng gì cả.
Chúng tôi cũng sử dụng các đầu nối được mạ vàng hoặc niken. Tại sao vậy? Bởi vì quá trình oxy hóa ở điểm tiếp xúc là một vấn đề nan giải. Bằng cách giữ cho các điểm tiếp xúc luôn sạch sẽ, chúng ta có thể đảm bảo dòng điện chảy ổn định và tránh hiện tượng phóng điện. Như chúng ta đã biết, điều cuối cùng mà chúng ta muốn trong môi trường phòng sạch chính là sự xuất hiện của các hạt kim loại trong không khí.