Trên dây chuyền sản xuất có độ dài 300mm, việc xảy ra sự lệch lạc 0,5 độ trong quá trình nung phim phản quang cũng đủ để làm sai lệch độ rộng của các đường kẻ trên bề mặt wafer, từ đó gây lãng phí nguyên vật liệu. Đó chính là lý do tại sao chúng tôi tạo ra thiết bị sưởi ấm bằng tia hồng ngoại này – một thiết bị có thể hoạt động trong môi trường chân không, nơi mà yêu cầu về nhiệt độ rất khắt khe, và số lượng hạt bụi trong môi trường sản xuất được đo bằng đơn vị phân tử.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại tần số thấp trong môi trường thạch anh, giúp truyền nhiệt trực tiếp vào phim phản quang và bề mặt wafer. Thời gian phản ứng chỉ khoảng vài giây; không cần phải tiếp xúc trực tiếp. Độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bề mặt wafer ở mức ±0,1°C, còn độ lặp lại giữa các lô sản xuất thì ở mức ≤0,2°C.
Thiết bị này có thể được lắp đặt trong các buồng chân không thông qua các khớp nối tiêu chuẩn, kèm theo hệ thống che chắn sóng vô tuyến và dòng điện một chiều. Thiết bị này hoạt động tốt trong môi trường có mức độ bụi từ Class 1–100, không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào. Nhiệt độ được kiểm soát bằng hệ thống đo nhiệt độ chính xác, và thông số nhiệt độ có thể được so sánh với các tiêu chuẩn của NIST.
Tại sao thiết bị này phù hợp cho công nghệ in ấn
Trong công nghệ in ấn, cần có quá trình nung ổn định để loại bỏ dung môi, giảm áp lực trên bề mặt phim phản quang, và duy trì độ chính xác về kích thước các đường kẻ. Thiết bị này giúp kiểm soát quá trình nung một cách chính xác, từ đó giảm sự biến đổi về kích thước các đường kẻ và nâng cao tỷ lệ thành phẩm. Tốc độ phản ứng nhanh cũng giúp rút ngắn thời gian xử lý trong buồng sản xuất.
Khả năng hoạt động trong môi trường chân không giúp loại bỏ nguy cơ ô nhiễm do rò rỉ khí. Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm bớt, vì nhiệt lượng được truyền trực tiếp vào wafer mà không cần phải tích tụ trong một khối nhiệt lớn. Chúng tôi đã thấy thiết bị này hoạt động liên tục 5.000 giờ trở lên với tỷ lệ suy giảm hiệu suất dưới 5%, giúp cho việc vận hành 24/7 trở nên dễ dàng hơn.
Những điều bạn cần biết trước khi lắp đặt
Việc lắp đặt yêu cầu phải đảm bảo sự đối xứng giữa thiết bị và wafer, đồng thời phải chọn đúng giá trị độ phát xạ nhiệt phù hợp với loại vật liệu được sử dụng. Các vật liệu như khay đựng wafer, lớp phủ chống phản xạ… đều ảnh hưởng đến khả năng truyền nhiệt.
Đây không phải là thiết bị có thể lắp đặt ngay lập tức trên bất kỳ nền tảng nào. Bạn cần có bộ điều khiển riêng và phải đảm bảo rằng thiết bị được lắp đặt một cách chính xác. Hãy tiến hành thử nghiệm ngắn để xác định thông số nhiệt độ phù hợp, sau đó áp dụng chúng vào quy trình sản xuất.