Trên sàn fab, việc nướng photoresist không phải là một khởi động. Nó là bản lề của quá trình.
Hãy để việc nướng mềm hoặc nướng cứng trôi qua 1,5°C và bạn sẽ thấy điều đó trong kiểm soát CD. Edge-bead bắt đầu xuất hiện. Wafer bị loại bỏ. Các phần tử nhiệt của lò chân không phải cung cấp nhiệt ổn định, lặp lại dưới chân không—không được thêm hạt hoặc mất tính đồng nhất. Những gì chúng tôi tập trung vào, về mặt kỹ thuật Chúng tôi thiết kế các phần tử nhiệt cho lò chân không trong quá trình in lithography và xử lý photoresist, nhằm đạt được tính đồng nhất nhiệt độ ±0.1°C trên mặt phẳng wafer. Chúng sử dụng các bộ phát hồng ngoại ngắn (NIR) bằng thạch anh với độ quán tính nhiệt thấp, vì vậy việc kiểm soát gia tăng là chặt chẽ và ngân sách nhiệt vẫn được kiểm soát. Cấu trúc tương thích với phòng sạch cho Class 1–100. Vật liệu có lượng khí thải thấp, và chu kỳ nhiệt không tạo ra hạt. Mật độ công suất được điều chỉnh theo hình học của buồng để tránh điểm nóng, và tính lặp lại nhiệt độ duy trì ổn định sau mỗi lần nướng. Tại sao điều này quan trọng trong sản xuất Bạn cần một hồ sơ nướng mà bạn có thể tin tưởng, ngày này qua ngày khác. Những phần tử này ổn định hồ sơ nhiệt độ của lò để kiểm soát độ rộng đường dây giữ nguyên và hồ sơ photoresist nhất quán giữa các lô. Điều đó có nghĩa là ít phải làm lại, năng suất giữ nguyên, và thời gian chu kỳ mà bạn có thể lập kế hoạch. Mức tiêu thụ năng lượng giảm vì NIR làm nóng wafer và buồng trực tiếp, thay vì xả nhiệt vào không khí rồi bị bơm đi. Thời gian thay thế cũng kéo dài—thiết kế phần tử chống lại sự suy giảm điểm nóng, vì vậy mức tiêu thụ phụ tùng giảm. Một vài lưu ý thực tiễn Các phần tử được thiết kế để đáp ứng tiêu chuẩn thiết bị bán dẫn quốc tế và được xác nhận là các lựa chọn thay thế tương đương. Việc lắp đặt phải phù hợp với điện áp của lò, giao diện kết nối và khoảng cách lắp đặt. Nếu các đầu nối không thẳng hàng, bạn sẽ gặp phải hiện tượng làm nóng không đều. Lập kế hoạch cho một chu kỳ nướng và điều chỉnh chân không sau khi lắp đặt. Điều này sẽ loại bỏ độ ẩm còn lại và thiết lập tính lặp lại cơ bản.