Hãy ngừng để ozon phá hủy các thiết bị của bạn đi!
Khi làm việc trong nhà máy chế tạo chip bán dẫn, điều cuối cùng mà bạn muốn chính là sự ô nhiễm. Bạn cần các quy trình sấy khô và xử lý phải diễn ra một cách tự động, mà không để lại dấu vết gì trên wafer hay làm hỏng môi trường làm việc sạch sẽ.
Đó chính là lúc các loại đèn hồng ngoại không chứa ozon trở nên hữu ích. Hầu hết các đèn hồng ngoại thông thường có xu hướng phát ra bức xạ trong khoảng từ 185nm đến 254nm. Vấn đề là bức xạ này tương tác với oxy trong không khí, tạo thành ozon. Trong môi trường sản xuất chip, ozon chính là yếu tố gây hại; nó từ từ phá hủy các linh kiện và làm hỏng các bề mặt cần được xử lý, trước khi bạn kịp nhận ra có vấn đề gì xảy ra.
Giải pháp để khắc phục vấn đề này khá đơn giản. Chúng ta sử dụng các lớp vỏ bằng thạch anh hoặc các bộ lọc để ngăn chặn bức xạ UV. Bằng cách loại bỏ hoàn toàn các bức xạ có bước sóng dưới 200nm, chúng ta có thể loại bỏ hoàn toàn các chất phụ phẩm hóa học. Kết quả là chúng ta chỉ nhận được năng lượng nhiệt thuần túy.
Điều tuyệt vời nhất là bạn có thể sử dụng các chu kỳ xử lý với cường độ cao mà không cần phải lắp đặt các hệ thống thông gió lớn và ồn ào. Điều này giúp môi trường làm việc trở nên sạch sẽ hơn.
Ngoài ra, quy trình này còn nhanh hơn nữa. Hãy tưởng tượng về lò nướng thông thường: bạn phải làm nóng không khí trước, rồi mới làm nóng vật liệu. Quy trình này rất chậm. Còn đèn hồng ngoại thì khác; nó truyền năng lượng trực tiếp vào vật liệu. Quy trình này hiệu quả hơn nhiều. Thời gian xử lý cũng được rút ngắn. Hơn nữa, chúng ta có thể sử dụng các hệ thống phân vùng, như vậy bạn sẽ không lãng phí năng lượng khi chỉ cần làm nóng một khu vực nhỏ mà thôi.
Nhưng cũng có một điểm cần lưu ý. Các đèn hồng ngoại có cường độ cao sẽ rất nóng – đặc biệt là ở phần đầu đèn. Mặc dù quy trình này được coi là “xanh”, nhưng các thiết bị vẫn chịu áp lực lớn từ nhiệt độ cao. Bạn không thể lơ là việc sử dụng các quạt làm mát hoặc hệ thống làm mát bằng nước. Nếu hệ thống làm mát không đủ mạnh, các đầu đèn sẽ bị quá nhiệt và hỏng rất nhanh. Đó là cách mất mát thiết bị một cách đáng tiếc.
Việc chuyển sang sử dụng đèn hồng ngoại không chứa ozon sẽ giúp cuộc sống của bạn dễ dàng hơn nhiều. Bạn không cần phải lo lắng về các thiết bị giám sát khí độc nữa, và bạn cũng có thể tuân thủ các tiêu chuẩn “thân thiện với môi trường” mà không cần phải vất vả gì cả. Đó chính là con đường ngắn nhất để tạo ra một môi trường làm việc sạch sẽ và yên tĩnh hơn.