真空腔体红外加热器

摒弃热风加热：为何真空红外线加热才是最佳选择 如果您仍在使用热风循环方式来对半导体进行加工，那您肯定已经察觉到其效率极低的问题。这实在令人沮丧——因为必须等待整个腔体以及其中的所有空气分子都升温之后，晶圆才会开始受热。这一过程极其缓慢，严重影响了工作效率。 正因如此，我们改用了真空红外线加热器。这...