半导体器件特性测试用加热器

在生产线上，光刻胶的稳定性并非可有可无的要素——它其实直接决定了生产流程的顺利进行。如果软烘或硬烘过程中的温度出现1°C的偏差，整个工艺流程都会受到影响，而蚀刻效果也会立刻显现出来。因此，我们专门设计了半导体器件检测用加热器，以消除这种温度偏差。 关键在于保持温度的均匀性 我们需要确保晶圆表面的温...