
ফ্লোরে, ২.৫ডি/৩ডি আইসিপ্যাকেজিং-এ থার্মাল ড্রিফটের কোনো সুযোগ থাকে না। আন্ডারফিল কিউরিং বা রিফ্লো জোনে যদি কোনো ঠান্ডা অঞ্চল থাকে, তাহলে এটা ভয়াবহ পরিণতি ডেকে আনবে—যেমন খালি জায়গা, ইন্টারকানেক্ট ডিলামিনেশন, এবং অপ্রয়োজনীয় কাঁচামাল। এই সমস্যাগুলো আপনাকে পুরো ওয়েফারের মূল্য হারাতে বাধ্য করবে। আমরা ঠিক এই বাস্তবতার জন্যই ২.৫ডি/৩ডি আইসিপ্যাকেজিং হিটারটি তৈরি করেছি—যাতে ওয়েফারের সক্রিয় পৃষ্ঠে তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; ফলে প্রতিটি ডাইয়ে সমান তাপ প্রযুক্ত হয়।
আসলে যা গুরুত্বপূর্ণ তা হলো—নিয়ন্ত্রণ যা আপনি যাচাই করতে পারেন। আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার অ্যারে, কোয়ার্টজ-ভিত্তিক থার্মাল মডিউল এবং ক্লোজড-লুপ পাইরোমেট্রি ব্যবহার করি; ফলে দ্রুত তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ সম্ভব হয়। এই সিস্টেমটি ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০-এ কাজ করে; এটা কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন না করেই কাজ করে—কোনো গ্যাস নির্গমন নেই, কোনো ধরনের দূষণ নেই।
উৎপাদনের ক্ষেত্রে এর ফলে সহজেই পূর্বাভাসযোগ্য তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ সম্ভব হয়; আন্ডারফিল কিউরিংয়ের জন্য পুনরায় ব্যবহারযোগ্য তাপমাত্রা পাওয়া যায়; আর রিফ্লো প্রক্রিয়ায় স্থিতিশীলতা বজায় থাকে, ফলে উৎপাদন হার উচ্চ থাকে।
এটা কাজ করে কারণ এটা প্রক্রিয়ার বিভিন্ন ধরনের তাপীয় পরিবর্তনগুলোকে নিয়ন্ত্রণ করে। লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় আরও ভালো নিয়ন্ত্রণ সম্ভব হয়; পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন কমে যায়; আর প্যাকেজিং প্রক্রিয়ায় সামঞ্জস্যপূর্ণ আঠালোতা বজায় থাকে।
শক্তি ব্যবহার কমে যায়, কারণ হিটারটি দ্রুত নির্ধারিত তাপমাত্রায় পৌঁছায় এবং সেখানেই থাকে; আর ২৪/৭ কাজ করার জন্য ডিজাইন করা কম্পোনেন্টগুলোর কারণে অপারেশন সময়ও বাড়ে।
একটি গুরুত্বপূর্ণ বিষয় হলো—±০.১°C এর মধ্যে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করতে হলে চাক বা স্টেজের সাথে উপযুক্ত থার্মাল ইন্টারফেস দরকার; আর পরিষ্কার, সঠিকভাবে ক্যালিব্রেটেড সেন্সরও দরকার। আপনার নির্দিষ্ট সাবস্ট্রেট স্ট্যাকের জন্য প্রোফাইলটি ঠিক করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ট টেস্ট রান করুন।