৩০০ মিমি লাইনে, ফটোরেজিস্ট বেক করার সময় অর্ধ-ডিগ্রিরও কম ভুল থাকলেই লাইনের প্রস্থ বিঘ্নিত হয়ে যায়; ফলে অনেক কাজ নষ্ট হয়ে যায়। এই ধরনের পরিস্থিতিই বিবেচনা করেই আমরা এই ভ্যাকুয়াম-সংগত আইআর হিটারটি তৈরি করেছি। এখানে তাপীয় ব্যবস্থাপনা খুবই গুরুত্বপূর্ণ; আর ক্লিনরুমের কণা-সংখ্যা মোলেকুলের হিসাবেই পরিমাপ করা হয়।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা কোয়ার্টজ সেটআপে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহার করি; এর মাধ্যমে তাপ সরাসরি ফটোরেজিস্ট ও সাবস্ট্রেটে পৌঁছায়। প্রতিক্রিয়ার সময় কয়েক সেকেন্ডেরও কম; কোনো সংস্পর্শের দরকার নেই। প্রক্রিয়াটি চলাকালীন ওয়েফারের তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; আর লট-থেকে-লট পুনরাবৃত্তির মাত্রা ≤০.২°C এর মধ্যে থাকে।
হিটারটি মানকীকৃত ফ্ল্যাঞ্জের মাধ্যমে ভ্যাকুয়াম চেম্বার ও ফ্যাব টুলগুলোতে স্থাপিত হয়; এতে RF/DC শিল্ডিংও রয়েছে। এটি Class 1–100 পরিবেশে ব্যবহার করা যায়; এখানে কোনো কণা উৎপন্ন হয় না। তাপমাত্রা ক্যালিব্রেটেড পাইরোমেট্রির মাধ্যমে নিয়ন্ত্রিত হয়; আর তাপীয় প্রোফাইলটি NIST-এর মানদণ্ড অনুযায়ী নির্ধারিত হয়।
লিথোগ্রাফিতে এটি কেন কার্যকর?
লিথোগ্রাফিতে সলভেন্ট অপসারণ, ফিল্মের চাপ ও CD ভ্যারিয়েশন নিয়ন্ত্রণ করার জন্য স্থিতিশীল তাপীয় ব্যবস্থা প্রয়োজন। এই হিটারটি তাপীয় প্রক্রিয়াটিকে নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে CD ভ্যারিয়েশন কমে যায় এবং উৎপাদন বৃদ্ধি পায়। দ্রুত তাপীয় প্রতিক্রিয়ার কারণে চেম্বারের কাজের সময়ও কমে যায়।
ভ্যাকুয়াম-সংগত হওয়ার কারণে লিকের ঝুঁকি দূর হয়। শক্তি ব্যবহারও কমে যায়; কারণ তাপ প্রয়োজন অনুযায়ীই সরবরাহ করা হয়। আমরা এই হিটারটি ৫,০০০+ ঘন্টা ধরে ব্যবহার করেছি; এতে উৎপাদন হ্রাস মাত্র ৫% হয়েছে। এটি ২৪/৭ কাজ করার জন্য উপযুক্ত।
আগে থেকে জানা দরকার কী?
ইনস্টলেশনের জন্য ওয়েফারের সাথে সঠিক অ্যালাইনমেন্ট এবং ইমিসিভিটি ঠিক রাখা প্রয়োজন। গ্লাস ক্যারিয়ার, BARC ও অ্যান্টি-রিফ্লেক্টিভ কোটিংগুলো তাপীয় সংযোগকে প্রভাবিত করে।
এটি সব প্ল্যাটফর্মের জন্য সহজেই ব্যবহার করা যায় না। এর জন্য আলাদা কন্ট্রোলার ইন্টারফেস ও যথাযথ যান্ত্রিক ব্যবস্থা প্রয়োজন। প্রথমে তাপীয় প্রোফাইলটি পরীক্ষা করে নিন; তারপর এটিকে প্রক্রিয়ার মানদণ্ড হিসেবে ব্যবহার করুন।