http://warm-ir-heater-store.com/bn/tags/%E0%A6%B8%E0%A7%8D%E0%A6%AC%E0%A6%AF%E0%A6%BC%E0%A6%82%E0%A6%95%E0%A7%8D%E0%A6%B0%E0%A6%BF%E0%A6%AF%E0%A6%BC/ Recent content in স্বয়ংক্রিয় on Warm IR Heater Store Hugo bn Thu, 02 Jul 2026 03:14:23 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/bn/posts/automated-wafer-drying-heater/ Thu, 02 Jul 2026 03:14:23 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/bn/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-store.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="স্বয়ংক্রিয় ওয়েফার শুকানোর হিটার"></p> <p>৩০০ মিমি লাইনে কাজ করার সময় দ্রুতই বোঝা যায় যে, ড্রাইং/বেকিং প্রক্রিয়ায় ০.১°সেলসিয়াসেরও কম পরিবর্তনটা কোনো “ছোট পরিবর্তন” নয়। এর ফলে ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলো ন্যানোমিটার পরিমাণে পরিবর্তিত হয়; আর এর ফলে পার্টিকেলগুলোর সংখ্যাও ভুলভাবে পরিবর্তিত হয়। অটোমেটেড ওয়েফার ড্রাইং হিটারগুলো শুধুমাত্র অতিরিক্ত তাপ সরবরাহ করে না; বরং ফটোরেসিস্ট সফ্ট বেকিং ও হার্ড বেকিং প্রক্রিয়াগুলোর জন্য এগুলো অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। এছাড়া, ক্লিনিং-পরবর্তী ড্রাইং প্রক্রিয়ায়ও এগুলো গুরুত্বপূর্ণ; কারণ এর ফলেই নির্ধারিত মানে উত্পাদন সম্ভব হয়।</p> <p><strong>প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?</strong><br> আমরা ড্রাইং হিটারটিকে এমনভাবে ডিজাইন করেছি যাতে ক্লিনরুম-সংগত থার্মাল মডিউলের মাধ্যমে ওয়েফারগুলোর তাপমাত্রা ±০.১°সেলসিয়াসের মধ্যে থাকে। ২৪ ঘণ্টা ধরে এই স্থিতিশীলতা ±০.২°সেলসিয়াসের নিচে থাকে। তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা হয় ফটোরেসিস্টের তাপীয় প্রয়োজনীয়তার অনুযায়ী; যাতে কোনো সমস্যা না হয়। চেম্বার ও এক্সহস্ট প্যাথগুলো এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে কোনো পার্টিকেল বের না হয়; ফলে ISO ক্লাস ১–১০০ মানদণ্ড বজায় থাকে। বিভিন্ন লটের মধ্যে তাপমাত্রার পরিবর্তন ≤০.৩°সেলসিয়াস; ফলে প্রক্রিয়াটি নির্ধারিত মানেই চলে।</p>