Na litické podlaze stačí poloviční stupeň posunu během měkkého zahřívání k tomu, aby došlo ke změně hodnoty CD a bylo poškozeno velké množství kvalitních destiček. Naše lampy na ohřev destiček jsou navrženy tak, aby tento posun odstranily hned na samém začátku – tedy prostřednictvím termální kontroly, která udržuje stanovenou teplotu bez jakýchkoliv odhadů.
Co je důležité v podstatě
Používáme halogenské lampy s krátkovlnným infračerveným zářením v kvartovém obalu. Nastupování teploty probíhá rychle a stabilní stav se udržuje. Rozložení teploty na povrchu destičky zůstává v rozmezí ±0,1 °C v celé osvětlené oblasti, takže teplota fotorezistu odpovídá předepsaným hodnotám, nikoli teplotě samotného zařízení.
Systém je kompatibilní s čistými prostředími od třídy 1 do třídy 100. Použité součástky a materiály jsou vybrány tak, aby minimalizovaly vznik částic. Dokážeme udržet konzistentnost výstupů i během nepřetržitého provozu po dobu více než 5 000 hodin.
Proč funguje v průběhu výroby
Během měkkého i tvrdého zahřívání lampy regulují termický stav, který ovlivňuje odstraňování rozpouštědel, skleněnou transformaci a selektivitu leptání. To vede k lepší kontrole hodnoty CD, nižší hustotě vad a méně potřebě oprav.
Rychlá termální odezva a efektivní spojení krátkovlnného infračerveného záření snižují spotřebu energie. Díky dlouhým cyklům provozu s předvídatelnými intervaly údržby se zvyšuje dostupnost zařízení.
Praktické detaily
Nejlepší rovnoměrnost dosáhnete, když je optická dráha zarovnána s povrchem destičky a geometrie reflektoru odpovídá požadavkům procesu. Očekávejte krátký čas na seřízení systému předtím, než budete moci ověřit parametry zahřívání.
Vezměte v úvahu také potřeby napájení a kompatibilitu mezi jednotlivými součástmi – poskytujeme pokyny pro zapojení, které odpovídají tomu, co již máte ve svých zařízeních.