Přestaňte dovolovat, aby ozón ničil vaše hardwarové komponenty
Když pracujete v továrně na výrobu polovodičů, to poslední, co potřebujete, je kontaminace. Potřebujete, aby procesy sušení a zasychání probíhaly bez problémů – měly by prostě fungovat, aniž by zanechaly jakékoliv stopy na destičkách nebo poškodily čistou místnost.
Právě zde přicházejí na pomoc infračervené žárovky bez ozónu.
Většina běžných infračervených žárovek s krátkou vlnovou délkou má tendenci vyzařovat záření v rozsahu 185 nm až 254 nm. Problém spočívá v tom, že toto záření působí na kyslík ve vzduchu a vytváří ozón. V továrně je ozón v podstatě „korozivní duch“ – tiše ničí komponenty vašich nástrojů a poškozuje substráty, ještě než si vůbec uvědomíte, že existuje nějaký problém.
Řešení je ve skutečnosti docela jednoduché.
Používáme speciální křemičitý obal nebo interní filtry, které blokují toto VUV spektrum. Tím, že odstraníme veškeré záření pod 200 nm, eliminujeme veškeré chemické vedlejší produkty. Zbývá tedy pouze čistá tepelná energie.
Nejlepší na tom je, že můžete provádět cykly s vysokou intenzitou, aniž byste museli instalovat velké, hlučné systémy na čištění vzduchu. Celá místnost tak působí čistěji.
Je to také mnohem rychlejší.
Vzpomeňte si na konvekční troubu – musíte nejprve ohřát vzduch, a teprve potom vzduch ohřívá daný objekt. Je to pomalé. Infračervené záření je jiné – přenáší energii přímo do materiálu.
Je to efektivní. Doba nastartování se zkracuje a cykly jsou kratší. Navíc můžeme tyto systémy rozdělit na jednotlivé zóny, takže neplýtváte energií na ohřev celé desky, když potřeba je ohřát pouze jeden malý úsek.
Ale je tu jeden problém.
Vysokointenzitní infračervené žárovky se velmi zahřívají – konkrétně jejich hlava. I když je tento proces „ekologický“, hardwarové komponenty stejně trpí tímto napětím.
Nemůžete šetřit na chladicích ventilátorech nebo vodou chlazených systémech. Pokud chlazení nebude dostatečné, konce žárovek se přehřejí a předčasně selžou. Je to frustrující způsob, jak přijít o žárovku.
Přechod na infračervené žárovky bez ozónu prostě usnadňuje práci. Už se nemusíte starat o monitory nebezpečných plynů a můžete dodržovat požadavky na „ekologičnost“ a „bez olova“, aniž byste museli něco udělat. Je to nejrychlejší cesta k čistší a tišší továrně.