http://warm-ir-heater-store.com/cs/tags/automatick%C3%A9/ Recent content in Automatické on Warm IR Heater Store Hugo cs Thu, 02 Jul 2026 03:14:23 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/cs/posts/automated-wafer-drying-heater/ Thu, 02 Jul 2026 03:14:23 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/cs/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-store.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Automatický ohřívač na sušení waférů"></p> <p>V oblasti 300 mm se rychle naučíte, že odchylka nižší než 0,1 °C během kroku sušení/napařování rozhodně není „malou odchylkou“. Ta způsobuje změny v kritických rozměrech v řádu nanometrů a zároveň ovlivňuje počet částic negativním způsobem. Automatizované ohřívače na sušení waferů nejsou jen zdrojem dodatečného tepla. Jedná se o termální prvky, které zajišťují správné podmínky při měkkém a tvrdém napařování fotorezistu, stejně jako při sušení po čištění – to určuje, zda bude dálek expedován, nebo zahoděn.</p>