http://warm-ir-heater-store.com/cs/tags/opl%C3%A1chnout/ Recent content in Opláchnout on Warm IR Heater Store Hugo cs Wed, 03 Jun 2026 01:26:39 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/cs/posts/fast-drying-wafer-after-rinse-lamp/ Wed, 03 Jun 2026 01:26:39 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/cs/posts/fast-drying-wafer-after-rinse-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-store.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Rychleschnoucí vrstva po oplachu lampy"></p> <p>Na výrobní lince je krok máchání kontrolovaným rizikem. Zbytková voda znamená mikrokontaminaci a slabý sušící cyklus může vyžadovat přepracování fotorezistu – nebo snížit výtěžnost ještě předtím, než se vzor dostane na wafer. Lampa pro rychlé sušení waferu po máchání byla navržena tak, aby tuto nejistotu eliminovala.</p> <p><strong>Co je důležité pod povrchem</strong><br> Toto zařízení je postaveno na emitorech krátkovlnného infračerveného záření (SWIR), díky čemuž je sušení rychlé a bezkontaktní. Teplo se přenáší rychle bez mechanického poškození a udržujeme tepelnou uniformitu přes wafer na ±0,1°C. To je zásadní při ochraně tepelných limitů fotorezistu během přechodů mezi soft bake a hard bake.</p>