Hören Sie auf, zuzulassen, dass defekte Lampen Ihre Produktivität beeinträchtigen!
In einer Produktionsstätte mit hohem Aufkommen ist eine defekte Infrarotlampe nicht nur lästig – sie ist ein Albtraum. Wenn ein Quarztubus kaputtgeht, zerbricht er nicht nur, sondern verspritzt auch Glassplitter und Chemikalien direkt auf die Wafer. Ein einziger Knall bedeutet schon den Verlust einer ganzen Charge. Es ist eine schmerzhafte Art, einen ganzen Arbeitstag zu verlieren.
Warum brechen die Lampen?
In der Regel liegt es am thermischen Schlag. Wenn die Temperatur zu schnell erhöht oder gesenkt wird, entsteht ein Hotspot – und der Tubus bricht.
Wir bekämpfen das Problem, indem wir hochreinen synthetischen Quarz verwenden. Dieser kann den Stress durch schnelle Temperaturschwankungen viel besser vertragen als billigerer Quarz. Wir achten auch sehr auf die Wandstärke des Tubus – es muss ausreichen, um dem Druck standzuhalten, während gleichzeitig die Wärme hindurchdringen kann.
Um Unordnung zu vermeiden
Auch mit hochwertigem Quarz können Probleme auftreten. Deshalb haben wir zusätzliche Sicherheitsmaßnahmen eingeführt. Wir umhüllen die Emittoren mit einer Hochtemperaturhülle, die nicht mit Chemikalien reagiert. Man kann sie als „Bodyguard“ betrachten: Falls die Lampe versagt oder explodiert, fängt die Hülle alles auf. Dadurch bleiben die Wafer sauber.
Wir haben nicht aufgehört. Wir haben auch die Anschlüsse verbessert, um elektrische Entladungen zu verhindern. Solche Funken erzeugen metallische Mikropartikel, die für die Produktionsstätte gefährlich sind. Durch die genauere Steuerung der Kontaktpunkte können wir diese Funken ganz beseitigen.
Der faire Kompromiss
Natürlich bedeutet die Verwendung einer physischen Barriere, dass man keine „nackte“ Wärmequelle mehr hat. Dadurch sinkt die direkte Infrarotstrahlung leicht. Das ist zwar kein großes Problem, aber man muss möglicherweise die Leistung erhöhen oder die Lampe etwas näher an die Wafer bringen, um die gewünschte Temperatur zu erreichen.
Noch etwas: Da die Hülle etwas mehr Wärme speichert, sollte man sicherstellen, dass die Kühlfanventilatoren die zusätzliche Belastung bewältigen können. Man möchte schließlich nicht, dass das Gehäuse überhitzt, während die Wafer sicher bleiben.