Ihre IR-Heizung wirklich sauber halten
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich die Probleme: Schon ein winziger Staubkorn oder ein seltsames Chemikaliengas kann dazu führen, dass ganze Produktchargen unbrauchbar werden.
Bei der Heizung von Halbleitern konzentrieren sich die meisten Menschen auf die hochreinen Quarz-IR-Lampen. Das ist zwar wichtig – doch die Lampe selbst ist nur die Hälfte des Problems. Das eigentliche Problem entsteht meist durch die Verkabelung, die die Energie zum Wolframfilament leitet.
Der verborgene Übeltäter: Die Isolierung
Herkömmliche PVC- oder Silikonisolierungen können die Hitze einer IR-Lampe einfach nicht verkraften. Irgendwann bricht diese Isolierung zusammen – und dann wird es problematisch. Dadurch entstehen flüchtige organische Verbindungen sowie mikroskopisch kleine Partikel. In einer Halbleiterfabrik landen diese Partikel direkt auf den Wafern – und das führt dazu, dass die Qualität der Produkte sinkt.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir auf Isolierungen aus Teflon (PTFE) umgestiegen sind. PTFE ist chemisch inert und bleibt auch bei hohen Temperaturen stabil. Es gibt keine Gase ab, und es schmilzt oder tropft auch nicht, wenn die Lampe ihre Höchsttemperatur erreicht. Wenn man PTFE mit hochreinem Quarz kombiniert, sind die Hauptquellen für schädliche Partikel beseitigt.
Die Realität der Hitze
Wir verwenden für unsere Lampen eine Hochleistungs-SiO2-Hülle, damit das Licht konstant bleibt. Dadurch wird das lästige „Gelbwerden“ vermieden, das bei billigen Gläsern auftritt. Ohne diese Hülle würde die Infrarotwellenlänge ändern – und das führt zu einer ungleichmäßigen Erwärmung des Substrats.
Aber man muss auch darauf achten, wo man die Kabel anbringt. Auch wenn PTFE hitzebeständig ist, hat es trotzdem eine Grenze. Wenn man die Kabel zu nahe an die Quarzhülle bringt, ohne einen Wärmschutz zu verwenden, ruft man Probleme hervor. Wir empfehlen, einen bestimmten Abstand einzuhalten, damit die Temperatur der Kabel unter 260 °C bleibt.
Einfache Integration in Ihre Anlage
Diese Komponenten sind so konzipiert, dass sie problemlos als Ersatz für die Trocken- und Aushärtungsstationen eingesetzt werden können. Keine komplizierten Anpassungen nötig.
Außerdem verwenden wir kontaktiertes Gold- oder Nickelmaterial für die Anschlüsse. Warum? Weil Oxidation an den Kontaktpunkten ein großes Problem darstellt. Indem wir die Anschlüsse sauber halten, stellen wir sicher, dass der Strom stetig fließen kann – und es kommt zu keinen Kurzschlüssen. Denn wie bereits erwähnt, möchte man in einem Reinraum auf keinen Fall Metallpartikel in der Luft haben.