http://warm-ir-heater-store.com/de/tags/automatisiert/ Recent content in Automatisiert on Warm IR Heater Store Hugo de Thu, 02 Jul 2026 03:14:23 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/de/posts/automated-wafer-drying-heater/ Thu, 02 Jul 2026 03:14:23 +0800 http://warm-ir-heater-store.com/de/posts/automated-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-store.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Automatisierter Heizer zum Trocknen von Wafern"></p> <p>Bei der Verwendung von 300-mm-Wafern lernt man schnell, dass eine Abweichung von weniger als 0,1 °C in der Trocknungs-/Brennphase keineswegs eine „kleine“ Abweichung ist. Solche Abweichungen führen zu einer Verschiebung der kritischen Abmessungen um Nanometer – und beeinflussen somit auch die Anzahl der Partikel negativ. Automatische Trockner für Wafer sind also nicht nur eine Quelle zusätzlicher Wärme. Sie bilden vielmehr die Basis für eine gleichmäßige Erwärmung des Photoresists während des Weich- und Hartbrennvorgangs sowie während des Nachreinigungsprozesses. Dadurch wird entschieden, ob die Wafer ausgeliefert werden können – oder ob sie verworfen werden müssen.</p>