Goldbeschichtete Infrarotlampe für Halbleiter

Thu, 09 Jul 2026 14:49:05 +0800

Einführung
Wir haben diese mit Gold überzogene Infrarotlampe aus einem einzigen Grund entwickelt: um das langsame Erwärmen der Luft bei der tiefen Bearbeitung von Halbleitern zu vermeiden. Zeit ist Geld – und wir wollten diese Kosten so weit wie möglich senken.

Während herkömmliche Konvektionsheizsysteme mit ihren eigenen Limitierungen kämpfen, erreicht diese Lampe das Ziel sofort – ohne Verzögerung. Es handelt sich dabei um eine Art „Upgrade“, das dazu führt, dass die Produktionsprozesse schneller ablaufen – denn das ist tatsächlich der Fall.

Zweigläserige Lampe mit Goldbeschichtung

Mon, 22 Jun 2026 19:06:45 +0800

Auf der Produktionsfläche gilt es, bestimmte Regeln einzuhalten. Eine Abweichung der Trocknungs Temperatur um 0,3°C führt bereits zu einer Veränderung des Profils des Fotolacks – und das zeigt sich als Variation der Linienbreite auf der Wafer-Oberfläche. Man verwendet zwar dieselben Parameter, doch die Qualität bleibt dennoch beeinträchtigt. Der Trocknungsprozess bedeutet nicht nur Erwärmen – er erfordert auch Wiederholgenauigkeit.

Was wirklich wichtig ist:
Wir haben unsere Doppelrohrlampe mit Goldbeschichtung so konstruiert, dass sie kurzwelliges Infrarotlicht abgibt. Die goldbeschichtete Quarzkapsel reflektiert die Wärme wieder in den Prozessbereich zurück – dadurch verbessert sich die thermische Effizienz und es entstehen weniger Hotspots. Dadurch wird eine Gleichmäßigkeit von ±0,1°C über die gesamte Wafer-Oberfläche erreicht. Dadurch bleiben die Profile beim Weich- und Harttrocknen innerhalb der gesetzten Toleranzen. Materialien und Konstruktionen, die für Saalbedingungen geeignet sind, tragen dazu bei, die Bildung von Partikeln zu verringern – somit eignet sich die Lampe ideal für Umgebungen der Klassen 1–100. Die Leistung bleibt über Tausende von Stunden hinweg stabil, und die spektrale Ausgabe wird so gesteuert, dass sie mit den Anforderungen des Fotolacks übereinstimmt.

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Goldbeschichtete Infrarotlampe für Halbleiter

Zweigläserige Lampe mit Goldbeschichtung